Gebraucht EVG / EV GROUP S08P4I.RD #9022851 zu verkaufen
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ID: 9022851
Robot (GENMARK), 6"
P/N: 9900107161
For EVG 620 Aligner system
Low hours
2001 vintage.
EVG S08P4I.RD Wafer Handler ist eine computergesteuerte Präzisions-Wafer Handhabung Ausrüstung entwickelt, um Substrate bis zu 8 Zoll im Durchmesser und bis zu 15,75 Zoll in der Höhe zu behandeln. Der S08P4I.RD Wafer Handler bietet höchste Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit und ermöglicht eine präzise Kontrolle von Maßtoleranzen und Temperaturgleichmäßigkeit von bis zu 1,2 mm. Der Wafer-Handler ist für eine Vielzahl von Anwendungen wie IC-Geräteherstellung, Verfahrenstechnik, optische Geräteherstellung und Photolithographie konzipiert. Der S08P4I.RD Wafer Handler besteht aus einem Großrechner, einem Roboterarm und einem Waferhalter. Der Großrechner ist aus Aluminiumguss gefertigt und verfügt über eine motorisierte Z-Achse zur präzisen Höhenverstellung. Der Roboterarm ist wendig und enthält ein erweitertes Steuerungssystem, um sicherzustellen, dass Wafer präzise platziert und im richtigen Muster ausgerichtet sind. Der Waferhalter ist aus Edelstahl gefertigt und enthält vier unabhängige Arme, um das Wafersubstrat sicher festzuklemmen. Der S08P4I.RD Wafer Handler ist hochgradig konfigurierbar und kann an die Bedürfnisse jeder Anwendung angepasst werden. Es ist mit einer fortschrittlichen Vision-Einheit ausgestattet, um sicherzustellen, dass Wafer genau positioniert sind und eine integrierte Steuerungsmaschine, um Temperaturgleichförmigkeit und konsistente Leistung zu gewährleisten. Der Wafer-Handler ist auch für einfache Wartung und Wartung konzipiert, mit einer Klapptür, Werkzeugschlitzen und einem austauschbaren Bandbett. Der S08P4I.RD Wafer Handler bietet eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich Übertemperatur, Überstrom und Überspannungsschutz. Alle Formen des Schutzes sind anpassbar, um die Bedürfnisse der verschiedenen Operationen zu erfüllen. Es ist auch mit einem flexiblen Vakuum-Kommissionierwerkzeug ausgestattet, das über eine Computerschnittstelle programmierbar ist, um eine sichere Positionierung von Substraten zu gewährleisten. Zusätzlich stoppt ein Sicherheits-Laser-Asset im Falle einer Behinderung den gesamten Bewegungsbetrieb. Der S08P4I.RD Wafer Handler ist ein effizientes und zuverlässiges Wafer Handling-Modell, das hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Seine Fähigkeiten machen es zu einer idealen Lösung für hochpräzise Montage und Verarbeitung. Die Flexibilität und Konfigurierbarkeit des Wafer-Handlers erhöhen seinen Wert für jede Anwendung weiter.
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