Gebraucht F-ONE CAL-1A01-Z30R35 #9111141 zu verkaufen

F-ONE CAL-1A01-Z30R35 ist ein Wafer-Handler, der für die präzise Handhabung von bis zu 200mm (8 Zoll) Durchmesser-Wafern auf 8mm (1/3 Zoll) Hubbettträgern entwickelt wurde. Es verfügt über einen automatisierten, modularen Aufbau mit integrierten Online-Tutorials. Der Grundkörper des Wafer-Handlers besteht aus einer Modulbasis und einem Modulkörper. Die Modulbasis ist ein Aluminiumguss mit EMI-abgeschirmtem Innenraum. Auf der Unterseite befindet sich der Modulkörper, der ebenfalls aus Aluminium besteht und den Wafer-Ladeflansch und die Vakuumaufnahmeöffnung unterstützt. Alle Innenteile und Wafer-Handhabungsmechanismen sitzen innerhalb des Modulkörpers. Der Wafer-Handler hat sechs Systemmodule: Vakuum, Vakuumdetektion, Gasspülung, Bewegungssteuerung, Wafer-Schräglage und A/V-Modul. Das Vakuum-Modul besteht aus einem Vakuum-Pickup-Port, der zur Unterstützung von bis zu 25 verschiedenen Wafergrößen installiert werden kann. Es enthält auch ein integriertes Vakuumsteuerungssystem, um eine genaue Kontrolle zu gewährleisten. Das Vakuumdetektionsmodul wird verwendet, um das Vorhandensein eines Wafers auf dem Handler mit einer Vielzahl von Methoden wie optisch, kapazitiv, thermisch oder akustisch zu erkennen. Das Gasspülmodul kann verwendet werden, um eine saubere atmosphärische Umgebung für den Wafer-Übergabeprozess bereitzustellen und ist an verschiedene Prozessrezepte anpassbar. Das Motion Control Modul dient zur Steuerung der Wafer-Handler-Bewegungen sowie der Geschwindigkeit und Beschleunigung. Es enthält auch eine CNC-Schnittstelle (Computer Numerical Control), die zum Programmieren benutzerdefinierter Trajektorien verwendet wird. Mit dem Wafer Skew-Modul wird sichergestellt, dass Wafer in der richtigen Position in den Wafer-Handler geladen werden. Es verwendet die Erkennungstechnologie, um die Position der Wafer beim Eintritt in den Handler zu erkennen und kann bei Bedarf zur Einstellung verwendet werden. Schließlich dient das A/V-Modul zur Kommunikation zwischen einem Hostcomputer und anderen Komponenten. Dadurch kann der Benutzer die Leistung des Wafer-Handlers von außerhalb der Maschine überwachen und steuern. Abschließend ist CAL-1A01-Z30R35 ein Wafer-Handler, der für die präzise Handhabung von bis zu 200mm (8 Zoll) Durchmesser-Wafern auf 8mm (1/3 Zoll) Hubbettträgern entwickelt wurde. Es verfügt über einen automatisierten, modularen Aufbau mit sechs Systemmodulen, die eine präzise Steuerung und Genauigkeit beim Umgang mit Wafern bieten. Das Gerät kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden und ist leicht für verschiedene Prozessrezepte angepasst.