Gebraucht FANUC M16iL #9082132 zu verkaufen

FANUC M16iL Wafer Handler ist ein präzisionsautomatisiertes Gerät zur Handhabung von 200mm und 300mm Wafern. Seine robuste Konstruktion ermöglicht eine schnelle und genaue Bewegung des Wafers in einer Vielzahl von Orientierungen und ist mit einer Vielzahl von Funktionen wie Wafer Inspektion und Ausrichtung, Einzelband Inspektion und Multi-Loop Handling ausgestattet. M16iL besteht aus Handhabungsarm, Waferhalterung, Hotlink-Bewegungsausrüstung, XY-Tisch und Kontrollstation. Seine maximale Übertragungsgeschwindigkeit beträgt 140mm pro Sekunde und seine maximale Beschleunigung 7500mm pro Sekunde 2. Die Wiederholbarkeit der Maschine beträgt + - 0,05 mm oder weniger und ermöglicht maximal 2000kg bewegliche Last. Der Handlingarm besteht aus einer Reihe von Aluminiumprofilen, die die Basis des Aluminiumservomotors sowie die Nutzlast von bis zu 150 kg unterstützen. Der Arm arbeitet über ein synchronisiertes Antriebssystem, das sicherstellt, dass er den gesamten Wafer effizient abdecken kann. Der Arm kann für Dreh-, Linear- und Translationsbewegungen konfiguriert werden und kann sich zwischen 0 und 190 Grad drehen, so dass sich der Arm in einer bogenförmigen Bewegung um volle 180 Grad von einer Waferhalterung zu einem Robotergreifer bewegen kann. Der Waferträger ist eine motorisierte, gleitende Grundplatte, die die Größe des Wafers an die Größe des Halters anpasst. Seine geschlossene Einheit und Motoren sorgen dafür, dass es genau und präzise gesteuert wird. Die Basisplattenbewegung wird von drei Servomotoren verwaltet, die in der Lage sind, Mehrfach- und Wiederholbewegungen vorzunehmen. Die Hotlink-Bewegungsmaschine wird verwendet, um den Wafer entlang der X- und Y-Achse der Wunde genau zu positionieren. Dazu ist der Hotlink mit vier Schrittmotoren ausgestattet, die sicherstellen, dass die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Platzierung des Wafers gewährleistet ist. Der XY-Tisch ist die zentrale Station der Wafer-Transfermaschine. Es besteht aus vier Linearschiebern, zwei Servomotoren und zwei Schrittmotoren, die die X- und Y-Bewegung der Maschine steuern. FANUC- M16iL können mit ihrem XY-Tisch Geschwindigkeiten von bis zu 30mm/s erreichen, was eine Hochgeschwindigkeits-Waferübertragung ermöglicht. Die Kontrollstation von M16iL ist die Schnittstelle zwischen dem Bediener und der Maschine. Die Steuerstation ermöglicht eine einfache Bedienung durch eine Reihe von Funktionen wie reibungslose Start- und Stoppfunktionen, Touchpanel-Display und 10 Kanäle zur Steuerung der Maschine. Abschließend ist FANUC M16iL eine präzise automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine, die bis zu 200mm und 300mm Wafer handhaben kann. Es verfügt über eine breite Palette von Funktionen, nutzt Hotlink-Bewegung und hat eine Wiederholbarkeit von 0,05 mm oder weniger. Seine Kontrollstation ermöglicht eine einfache Bedienung und ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine effiziente und schnelle Wafer-Übertragung gewährleisten.