Gebraucht FANUC R2000iA 165F #9204466 zu verkaufen
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ID: 9204466
Robot
Robot controllers: RJ3iB
Robot specifications:
(6) Axes
Payload: 165 kg
H-Reach: 2650 mm
Repeatability: ± 0.2 mm
Robot mass: 1210 kg
Structure: Articulated
Mounting: Floor
Robot motion speed:
J1: 105°/S (1.83 Rad / S)
J2: 105°/S (1.83 Rad / S)
J3: 105°/S (1.83 Rad / S)
J4: 130°/S (2.27 Rad / S)
J5: 130°/S (2.27 Rad / S)
J6: 210°/S (3.67 Rad / S)
Robot motion range:
J1: ±180°
J2: +75° - 60°
J3: +230° - 132°
J4: ±360°
J5: ±125°
J6: ±360°
Robotic applications:
Cutting
Fiberglass cutting
Laser welding
Machine tending
Material handling
Spot welding.
FANUC R2000iA 165F ist ein Wafer Handling Roboter, der von FANUC Robotics speziell für industrielle Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Dieser Industrieroboter ist für die Arbeit mit Wafern bis 165 mm Durchmesser ausgelegt, die typischerweise bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente verwendet werden. Der Roboter kann Wafer entweder von der Schüttgutquelle oder von Kassetten aufnehmen und Wafer auf/aus trockenen Prozessanlagen wie Ätzern und Reinigern laden/entladen. FANUC R-2000IA/ 165F ist mit einer hochmodernen Teach-Anhänger-Schnittstelle ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Bewegungen und Bewegungen des Roboters im Zusammenhang mit dem Wafer-Handling einfach zu programmieren. Diese Schnittstelle bietet auch komfortable Funktionen für die Diagnose der Systeme und Komponenten des Roboters. Darüber hinaus kann er in eine größere Automatisierung integriert werden, wodurch der Roboter von einem entfernten Standort aus überwacht und gesteuert werden kann. Der Roboter ist auch entworfen, um den Betrieb einfacher zu machen und Wafer Handhabungszeit für Halbleiterhersteller zu reduzieren. Es ist mit einer Vision-Ausrüstung ausgestattet, die hochauflösende Kameras und Bildverarbeitungssoftware verwendet, um Wafer entweder aus Massenquellen oder Kassetten genau zu identifizieren, zu lokalisieren und aufzunehmen. Darüber hinaus kann der Roboter mit verschiedenen Endeffektoren ausgestattet werden, um verschiedene Wafermaterialien und -größen aufzunehmen. Darüber hinaus werden die Bewegungen des Roboters durch ein Bewegungssteuerungssystem gesteuert, das eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus kann seine Steuerung bis zu sechs Achsen für zusätzliche Flexibilität managen, um unterschiedliche betriebliche Anforderungen zu erfüllen. Die Sicherheitsmerkmale R-2000 IA/ 165F sind für einen optimalen Schutz sowohl der Bediener als auch der Einheit selbst ausgelegt. Eine umfassende Sicherheitsabdeckung, ein Lichtvorhang für eine Armlock-Verriegelungsmaschine, ein Näherungsschalter und ein Endschalter, der die Bewegung des Roboters in bestimmte Richtungen verhindern kann, sind nur einige der in diesem Roboter implementierten Sicherheitssysteme. Kurz gesagt, FANUC R-2000 IA/ 165F Wafer Handler ist ein flexibler und zuverlässiger Industrieroboter für das Wafer Handling in der Halbleiterproduktion. Mit seinem Teach Anhänger, Vision Tool, Motion Controller und Sicherheitsfunktionen ist der Roboter für eine breite Palette von Halbleiter-Produktionsaufgaben geeignet.
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