Gebraucht FANUC R2000iA 200F #9083596 zu verkaufen

FANUC R2000iA 200F ist ein Wafer-Handler, der speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es kombiniert branchenführende Funktionen mit anpassbaren Optionen für schnelle, genaue Waferbewegung und Manipulation. R2000iA 200F umfasst ein Hochgeschwindigkeits-, berührungsloses und hochgenaues Wafer-Handhabungssystem für sowohl 200 mm als auch 300 mm Standardwafer. Es ist in der Lage, sowohl vertikal als auch horizontal Wafer von einem Roboter oder durch manuelle Bedienung zu be- und entladen. Das Gerät bettet ein ultraschnelles, berührungsloses Wafer-Handling-Subsystem ein. Der Wafer-Handler verwendet anstelle eines herkömmlichen Motors einen Linearmotor, um überlegene Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Durch diese berührungslose Konstruktion entfällt auch der Bedarf an festen Waferpaletten, Flanschen und deren damit verbundenen Vibrationen, wodurch eine saubere, staubfreie Umgebung für den Maschinenbetrieb geschaffen wird. Neben dem Hochgeschwindigkeits-Linearmotor verwendet FANUC R2000iA 200F auch ein Einstrahl-Wandler-Wegmessgerät (TDMS), um hochpräzise absolute Positionsinformationen bereitzustellen. Diese Informationen dienen zur fehlerfreien Ausführung der Wafer-Handhabungsoperationen und sorgen für eine exakte Wafer-Platzierung, ob beim Bewegen, Platzieren oder Entfernen eines Wafers. Das Wafer-Handling-Subsystem ist mit einem Wafer-Mapping-Tool gekoppelt, das alle notwendigen Informationen für eine zuverlässige, schnelle Wafer/Frame-Erkennung genau ermittelt. Dieses Mapping-Asset verwendet einen Laser- und CCD-Bildsensor, um Wafer/Frame-Maps im Vergleich zu anderen Wafer-Handling-Systemen detaillierter zu erzeugen. Mit diesen Informationen können 200F R2000iA Wafer aus jeder beliebigen Orientierung und mit beliebigen Rahmen exakt lokalisieren und aufnehmen. FANUC R2000iA 200F ist eine unglaublich leistungsfähige, zuverlässige und flexible Wafer-Handling-Lösung für alle Halbleiterprozesse. Mehrere Wafer-Handler können mit Unterstützungsgeräten wie Reinigungs- und Sortiermaschinen kombiniert werden, um eine leistungsstarke Wafer-Fertigungslinie zu schaffen. Mit seiner Kombination aus Robustheit und Präzision ist R2000iA 200F das ideale Wafer-Handhabungsmodell für den Umgang mit heutigen zerbrechlichen und leistungsstarken Wafern.