Gebraucht FUJI EC-201 #9289924 zu verkaufen

FUJI EC-201 ist ein vielseitiger Wafer-Handler für kleine und große Anwendungen. Es ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu handhaben und kann bis zu 200 Wafer pro Stunde handhaben. Die Einheit besteht aus einem Wafer-Lader/Entlader-Aggregat und einem Wafer-Handhabungskopf, die sich unabhängig voneinander bewegen und eine genaue Ausrichtung der Wafer während des Be-/Entlade- und Handhabungszyklus ermöglichen. Die Waferlader/Entlader-Einheit ist mit einer Luftdüse zum Vakuumtransport und Klebefolien zum Ausrichten ausgestattet. Zusätzlich steht ein Kassettenlader mit geteilter Plattenvorrichtung zur Verfügung, um große Wafer unterschiedlicher Größe zu erfassen und zu bewegen. Der Wafer-Handhabungskopf ist mit einem Vakuumspannfutter zum sicheren Verschließen von Wafern ausgestattet und sorgt für eine präzise Drehung und Positionierung der Wafer in der Handhabungskammer. Der eingebaute Schrittmotor ermöglicht zusammen mit einem Linearcodierer zur Positionsregelung eine präzise Ausrichtung und Handhabung der Wafer während des Transports. Ein Z-Achsen-Bewegungsmechanismus ermöglicht eine größere Flexibilität in der Transportorientierung. EC-201 Wafer Handler ist mit einem Sicherheitssystem ausgestattet, das gefährliche Luft aus dem Handhabungsraum schneidet, die Wafer vor Beschädigungen durch statische Elektrizität oder Fremdkörper schützt und das Vakuumfutter auf ordnungsgemäßen Betrieb überwacht. Darüber hinaus ermöglicht eine sechzehn einstellbare programmierbare Einheit eine einfache Umstellung und automatische Fertigstellung des Handhabungszyklus ohne Austausch von Teilen. Durch die Bereitstellung eines zuverlässigen und effizienten Transportsystems ist FUJI EC-201 Wafer Handler eine große Hilfe für die Handhabung von Wafern in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Medizinindustrie. Das geringe Geräusch des Wafer-Handhabungskopfes und die kontrollierte Umgebung des Handlingraumes machen ihn zum perfekten Gerät für die Roboterscheibenhandhabung.