Gebraucht GENMARK GB7 #9153705 zu verkaufen

GENMARK GB7
Hersteller
GENMARK
Modell
GB7
ID: 9153705
Robots P/N: 400397007 965925 5007784/5064340 400397009 4007-970-93.
GENMARK GB7 ist ein Wafer-Handler für die Verwaltung und den Transport von Halbleiterscheiben während eines Produktionsprozesses. Das Gerät ist für den Einsatz in Waferfertigungs- und Prüfanwendungen mit Wafern bis 300 mm Durchmesser ausgelegt. Das Gerät ist in der Lage, warme und kalte Wafer von bis zu 22 Kilogramm Gewicht zu handhaben. GENMARK GB 7 verfügt über einen vierachsigen kartesischen Roboterarm mit hoher Geschwindigkeit und einer vertikalen Transportausrüstung, um die Zykluszeit zu verringern, den Durchsatz und die Produktionseffizienz zu erhöhen. Das Gerät kann präzise Waferbewegungen mit einem Gesamthub von 250 x 400 x 250 mm, einer Wiederholbarkeit von 0,2 mm und Geschwindigkeiten von bis zu 30 mm/s durchführen. Der Arm verwendet CCD-Kameras, um Waferkanten zu erkennen; sowie Infrarot-Tracking-Technologie, um den Arm am Ursprung und während der Wafer-Übertragung genau zu positionieren. Es kann bis zu 50 Wafer pro Transfer genau aufnehmen und platzieren. GB7 enthält einen einzigartigen mechanischen Antrieb „C“. Dieser Antrieb bietet eine hervorragende Transportstabilität für Wafer, reduziert die Drehzahl während des Betriebs und reduziert die Lärmbelastung. Es enthält einen 500mm Hubionen-Implantat-Arm für Vakuum-Evakuierung. Der Arm erreicht seinen vollen Hub von 500mm bei einer hohen Geschwindigkeit von 25mm/sec. Zu den weiteren Merkmalen von GB 7 gehören ein integriertes Trümmerschutzsystem, eine intuitive Bedienoberfläche, eine pneumatische Saugeinheit zum Be-/Entladen von Wafern und eine Wafer-Stopper-Funktion. Die Benutzeroberfläche ermöglicht das Einstellen von Parametern und die Auswahl von voreingestellten Rezepten für optimale Leistung. Außerdem können bei Bedarf erweiterte Rezeptdefinitionen umgesetzt werden. Die integrierte Abfallmanagementmaschine ist so konzipiert, dass eine Verschmutzung des Wafers durch Staub, Schmutz und andere Fremdpartikel verhindert wird. Das pneumatische Saugwerkzeug dient zum Erfassen und Bewegen von Wafern in engen Räumen, während der Waferanschlag verhindert, dass sich die Wafer bei Übertragungen zu stark bewegen. GENMARK GB7 ist ein kompakter und zuverlässiger Wafer-Handler, der eine kostengünstige und effiziente Lösung für die Verwaltung der Herstellung von Halbleiterscheiben bietet. Seine präzise Bewegung ermöglicht eine optimale Genauigkeit, ohne die Zykluszeiten zu beeinträchtigen. Die intuitive Benutzeroberfläche und die Vielzahl zusätzlicher Funktionen sorgen dafür, dass das Gerät den Anforderungen jeder High-End-Wafer-Produktion oder Testanwendung entspricht.
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