Gebraucht GENMARK X5062 #9153695 zu verkaufen

GENMARK X5062 ist ein ultraschneller Wafer-Handler für die Halbleiterherstellung. Sie ist in der Lage, Wafer verschiedener Größen präzise und effizient zu übertragen, zu inspizieren und anzutreiben. Dank seines präzisen und zuverlässigen Handhabungssystems eignet es sich hervorragend für Anwendungen mit ultrahochpräzisen Sub-100µm-Halbleiteroperationen. X5062 besteht aus einer universellen Montagebasiseinheit mit zwei hochpräzisen Linearantrieben. Jeder Aktuator weist eine bewegliche Plattform auf, deren Bewegungsbereich durch einen präzisen elektronischen Servomotor gesteuert wird. Der V-förmige, antistatische Wafer-Handler kann sowohl mit starren als auch mit elastischen Wafern arbeiten. Die Einheit kann auch an einem vertikalen Band aufgehängt sein oder auf einem linearen Weg schwingen, um die Genauigkeit zu erhöhen. GENMARK X5062 bietet eine Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der Gesamteffizienz. Es verwendet ein hybrides Bewegungssteuerungssystem; umfassend eine Kombination von direktangetriebenen und Schrittmotoren. Dies gewährleistet maximale Geschwindigkeit und Genauigkeit bei Wafer-Handling-Vorgängen. Zusätzlich ist der Handler mit einer XYZ Auto Scale-In-Funktion zur Überschallpräzisionspositionierung ausgestattet. Dadurch können X5062 jede Neigung oder Abweichung innerhalb von Sekunden genau erkennen und anpassen. Um eine präzise Übertragung zu gewährleisten, kann GENMARK X5062 mit einer Vielzahl von Wafer-Sensorgeräten verknüpft werden. Es verfügt über einen automatischen Wafer-Tracker, der beim Übertragen nach Wafer-Markern scannt und die Bewegung stoppt, wenn er einen Fehler erkennt. In ähnlicher Weise ermöglicht die lastfühlende Kupplung der Einheit, das Vorhandensein des Wafers vor jedem Transfervorgang automatisch zu erkennen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, die Funktionen von X5062 einfach zu programmieren und zu steuern. Die GUI bietet Bedienern eine Reihe von intuitiven Befehlen und anderen Parametereinstellungsoptionen direkt von einem angeschlossenen PC aus. GENMARK X5062 bietet eine schnelle, zuverlässige und präzise Wafer-Handling-Lösung für die Halbleiterherstellung. Mit fortschrittlichen Bewegungssteuerungs- und Wafer-Sensortechnologien sorgt X5062 für eine präzise Übertragung und Handhabung ultrakleiner, mikroskopischer Wafer. Es ist eine perfekte Lösung für ultra-hochpräzise Halbleiteroperationen.