Gebraucht GL AUTOMATION IDScope #9124331 zu verkaufen

GL AUTOMATION IDScope
Hersteller
GL AUTOMATION
Modell
IDScope
ID: 9124331
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Wafer Scribe Readers, 8" Operating version: Windows XP Cassette port: (1) Port Wafer cassette: KM-803S-H SMIF Interface: No Option ionizer: Yes 2004 vintage.
GL AUTOMATION IDScope ist ein vollautomatischer Wafer-Handler, der Handarbeit minimiert und höchste Effizienz gewährleistet. Es ist ideal für Fertigungsprozesse auf Waferebene wie Sputtern, Ätzen und Verdünnen. Der Hauptmechanismus von IDScope ist ein Roboterarm mit einem speziellen magnetischen Greifer und einer Ausrichtungsausrüstung, die zum genauen Greifen, Griffen und Positionieren von Wafern entwickelt wurde. Der Arm ist in der Lage, Wafergröße, Orientierung und Position zu manipulieren, um ihn an den verschiedenen Prozessen auszurichten. Darüber hinaus ist der Mechanismus mit einem Vision-System ausgestattet, das einen Lichtleiter und eine Kamerakombination verwendet, um Waferdefekte zu lokalisieren und zu beurteilen. Das Werkzeug enthält auch eine Waferkassetteneinheit (Standard und/oder erweitert), die eine automatisierte Kassettenmontage oder -entmontage ermöglicht. Dies bedeutet, dass die Wafer direkt von/zu den Kassetten in die Maschine geladen bzw. entladen werden. GL AUTOMATION IDScope kann bis zu zwölf 8 „Wafer oder sechs 12“ Wafer gleichzeitig handhaben und je nach Konfiguration sequentiellen, zufälligen oder semi-zufälligen Kassettenzugriff bieten. Zusätzlich können Wafer aus Lager- und Fertigungsbereichen be- und entladen werden. Um optimale Ergebnisse zu erzielen, wird IDScope mit automatisierten Wafer-Alignment-Systemen aufgebaut. Diese Systeme sorgen dafür, dass die Wafer präzise im Werkzeug platziert werden, und reduzieren fehlerhafte Ausrichtungsfehler. Sie arbeiten, indem sie die Unterschiede in Form, Größe oder Kontur des Wafers erfassen und die Unterschiede mit dem Roboterarm messen. Durch die kontinuierliche Aktualisierung seiner Wafer-Ausrichtungs- und Referenzpunkte ist GL AUTOMATION IDScope in der Lage, Wafer für jeden Schritt in einem Fertigungsprozess genau auszurichten, wodurch Bedienerzeit und Fehler minimiert werden. Die Anlage verfügt auch über Sicherheitsfunktionen, um sowohl Betreiber als auch Ausrüstung zu schützen. Wenn beispielsweise eine unerwartete Leistungsunterbrechung auftritt, kann das Modell mit der eingebauten Notverriegelungstür initialisiert werden. Um irreparablen Wafer-Fehlhandlungen vorzubeugen, verfügt die Ausrüstung zudem über ein „Alles-oder-Nichts“ -Greif- und Positioniersystem. Dies wird keine Wafer in der Einheit platzieren, bis alle Eigenschaften des Wafers richtig ausgerichtet wurden. Alles in allem ist IDScope ein ausgezeichnetes Wafer-Handling-Tool, das sowohl Genauigkeit als auch Sicherheit gewährleistet. Sein automatisiertes Design sorgt dafür, dass weniger Zeit manuell mit Wafern umgeht und das Fehlerrisiko verringert wird. Durch die Verwendung des Roboterarms, der Ausrichtmaschine, der Waferkassetten und der Sicherheitsfunktionen erhöht GL AUTOMATION IDScope die Fertigungseffizienz drastisch.
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