Gebraucht HIRATA HNC-US566-6 #9111398 zu verkaufen
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HIRATA HNC-US566-6 ist ein Roboter-Wafer-Handler für das zuverlässige Be- und Entladen dünner Wafer. Es verwendet einen Hochgeschwindigkeits-Portalroboter mit hoher Präzision, um Wafer genau zwischen Prozesswerkzeugen, Lastschlössern und Trägern zu übertragen. Der Roboter ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 1 ausgelegt und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll handhaben. Es verfügt über eine Kamera, die den Fortschritt des Wafers verfolgt und bei der genauen Platzierung des Wafers basierend auf seiner genauen Position hilft. Der Roboter verfügt über drei Freiheitsgrade, die es ermöglichen, sich in der x-, y- und z-Ebene für eine präzise Platzierung und eine hohe Geschwindigkeit zu bewegen. Seine Greifer können Wafer bis zu 0,8 mm dick handhaben, was sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Darüber hinaus verfügt es über eine Selbstkontrollfunktion, die alle Komponenten überwacht und Fehler in seinem Betrieb erkennen und melden kann. Die Be- und Entladevorgänge werden in einer Reinraumumgebung der Klasse 1 durchgeführt, die die Partikelverschmutzung während der Handhabung minimiert. Der Roboter verfügt außerdem über ein Lastschloßsystem, das beim Bewegen von Wafern von einem Werkzeug zum anderen ein Eindringen von Verschmutzungen in das Roboterinnere verhindert. Um den Betrieb, die Sauberkeit und die Sicherheit zu schützen, verfügt es über ein Safety Interlock System (SIS), das alle Handlungen des Roboters überwacht. HNC-US566-6 ist ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der für verschiedene Anwendungen geeignet ist. Seine hohe Geschwindigkeit, Präzision und Genauigkeit machen es zu einer idealen Lösung für das Be- und Entladen von Wafern in einer Reinraumumumgebung. Seine Sicherheitsmerkmale sorgen auch dafür, dass es funktioniert, ohne das Produkt oder andere Komponenten zu beeinträchtigen, so dass es eine zuverlässige und kostengünstige Automatisierungslösung ist.
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