Gebraucht ILHOTECH ITAL-500 #9392926 zu verkaufen

ILHOTECH ITAL-500 ist eine hochpräzise Wafer-Handhabungseinrichtung, die für die Verarbeitung von Verbundhalbleiterscheiben durch eine Vielzahl von Herstellungsschritten von Halbleiterbauelementen konzipiert ist. Dieses System verfügt über einen Vakuum-Roboterarm, der Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm zwischen mehreren Arbeitsplätzen heben und übertragen kann. Dieser Arm kann Wafer präzise positionieren und gleichzeitig eine vollständig trockene Umgebung bereitstellen, die bei der Halbleiterverarbeitung erforderlich ist. Die wichtigsten Komponenten der Einheit sind der Roboterarm, die Werkzeugvorrichtung und die Mikroantriebsmaschine, die die Bewegung des Roboters steuern. Der Roboterarm eignet sich für jede Standard-100 mm oder 150 mm Halbleiterübertragungsstation, sodass er nahezu jede Art von Wafermaterial verarbeiten kann, einschließlich Oxid, Polysilizium, Galliumarsenid und Germanium-Silizium-Substrate. Darüber hinaus ist der Roboterarm so ausgelegt, dass er mit jeder automatischen Be-/Entladestation oder jedem Werkzeug kompatibel ist. Die Basis von ITAL-500 ist ein industrietauglicher, robuster Rahmen, der auch bei hohen Gewichten und Vibrationen stabil ist. Die Basis verfügt über eine verstärkte bewegliche Plattform, die es dem Asset ermöglicht, einen breiteren Bewegungsbereich bereitzustellen und gleichzeitig eine hohe Genauigkeit der Bewegung zu unterstützen. Das Modell verwendet auch hochgenaue und zuverlässige Delta Drive Mikroantriebseinheiten, die eine hohe Geschwindigkeit, präzise und wiederholbare Positionierung der Werkzeuge ermöglichen. Die Werkzeugaufnahme dieses Wafer-Handlers soll eine sichere Plattform für Prozesswerkzeuge sowie einen Vakuumanschluss zum Übertragen und Greifen von Wafern bieten. Die Vorrichtung verfügt außerdem über einen Schnellwechselwerkzeugmechanismus, der einen einfachen und einfachen Werkzeugwechsel ermöglicht. Die Werkzeugvorrichtung ist zudem mit Touch-and-Go-Sensoren für die hochpräzise Ausrichtung von Wafern sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung ausgestattet. Weitere Merkmale von ILHOTECH ITAL-500 sind ein integriertes Sichtgerät zur Erkennung der Waferorientierung und Kantenposition, ein vollautomatisierter rezeptbasierter Prozess und ein umfassendes webbasiertes Überwachungs- und Kontrollsystem. Die Einheit ist einfach zu bedienen und zu warten und sorgt für eine vollständige prozessübergreifende Kommunikation zwischen den verschiedenen Stufen des Herstellungsprozesses. Darüber hinaus entspricht ITAL-500 den Sicherheitsstandards von Halbleiterherstellungsprozessen. Insgesamt ist ILHOTECH ITAL-500 eine effektive und zuverlässige Waferbearbeitungsmaschine, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet eine präzise und wiederholbare Bewegung von Prozesswerkzeugen für die Hochleistungsverarbeitung von Halbleiterscheiben. Sein umfassendes Design ermöglicht eine hohe Genauigkeit und schnelles Wafer-Handling und ist somit für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet.