Gebraucht ILHOTECH M23IDF #9390882 zu verkaufen

ILHOTECH M23IDF
Hersteller
ILHOTECH
Modell
M23IDF
ID: 9390882
Auto loader.
ILHOTECH M23IDF Wafer Handler ist ein hochentwickelter und innovativer Roboter zum schnellen und sicheren Umgang mit zerbrechlichen und präzisen Wafern. Der Roboter ist speziell für den Wafertransport in der Halbleiter-, Display- und LED-Fertigungsindustrie konzipiert. Es handelt sich um ein mehrachsiges Robotersystem, bestehend aus einem Industrieroboterarm, einer Wafergreifvorrichtung, einem Ausgabeschüsselkarussell und mehreren Positionierern. Der Roboterarm kann den Wafer mit hohen Geschwindigkeiten und mit großer Genauigkeit bewegen. Dank seiner geringen Größe kann es auch einfach in verschiedene Prozesse und Maschinen integriert werden. Die Wafer-Greifvorrichtung ist dazu ausgelegt, mit ihrem Dreibackenfutter-Mechanismus Wafer sicher an Ort und Stelle zu halten. Das Spannfutter besteht aus langlebigen, nicht-elektrostatischen Materialien, so dass es dicht und sicher verschiedene Arten von Wafern greifen kann, ohne Schäden zu verursachen. Das Spannfutter hat eine einstellbare Öffnungskraft, die eingestellt werden kann, um eine optimale Greiffestigkeit zu gewährleisten. Das Schüsselkarussell kann bis zu neun Wafer gleichzeitig aufnehmen. Das Karussell ist mit einem federbelasteten Führungsrad mit niedriger Spannung ausgestattet, das es ermöglicht, die Bewegungen des Roboters während der Waferabgabe genau zu verfolgen. Darüber hinaus dient das Karussell auch als Vorratsbehälter für Abgabeflüssigkeiten, wie Ätzmittel und Verdünner. Die Positionierer, auch Transferarme genannt, sind die Hauptkomponenten des Roboters. Diese Arme sollen Wafer zwischen Prozessen und Positionen bewegen. Sie sind mit einer Reihe einstellbarer Einstellungen ausgestattet, die es ihnen ermöglichen, Wafer in jede gewünschte Richtung oder Geschwindigkeit und mit höchster Präzision zu bewegen. Die Positionierer weisen auch Sensoren zur Detektion von Waferkoordinaten auf, die ein versehentliches Fehlverhalten der Wafer verhindern. M23IDF Wafer Handler ist ein zuverlässiges und sicheres Werkzeug zur Handhabung von Wafern in Halbleiterprozessen. Die fortschrittlichen technologischen Merkmale sorgen dafür, dass Wafer sicher und präzise gehandhabt werden, ohne dass Schäden oder Kontaminationen auftreten. Der Roboter ist hochgradig anpassbar, wodurch er einfach in jedes Setup integriert werden kann, und seine intuitive Software und seine benutzerfreundliche Oberfläche machen es einfach zu programmieren, zu bedienen und zu warten.
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