Gebraucht INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 #9007852 zu verkaufen

INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 ist eine leistungsstarke Ausrüstung für empfindliches Materialhandling in Vakuum- und Ultrahochvakuumumgebungen. Es ist für vollständig anpassbare Konfigurationen mit integrierter Wafer-Handhabung für Anwendungen in Entwicklung, Prototyping und Waferdünnung konzipiert. Dieses System ist in der Lage, kleine Substratscheiben unter Bedingungen von niedrigem Vakuum bis zum nahen Vakuum sicher und sicher zu manipulieren. Es ist auch ideal für Forschungsanwendungen, die eine präzise Handhabung von Wafern erfordern, ohne die Umwelt zu kontaminieren. SPA-300 arbeitet mit einer zweiachsigen, voll schrittmotorisch angetriebenen Bewegungseinheit, die den Benutzern die volle Kontrolle über X- und Y-Achsen bietet. Die Bewegungsmaschine ermöglicht eine reibungslose und präzise Positionierung von Wafersubstraten mit einer minimalen Wiederholgenauigkeit von 0,04 mm. Das Gerät verfügt über eine Soft-Start/Stop-Steuerung und eine hohe dynamische Rucksteuerung, um die Wahrscheinlichkeit von Waferschäden weiter zu reduzieren. Zusätzlich ist ein Antikollisionsmechanismus in das Werkzeug eingebaut, um das Substrat vor unbeabsichtigten Stößen in Bewegung zu schützen. Im Zentrum von INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 steht ein fortschrittliches Vakuum-Feedback-Asset, das mithilfe externer Sensoren Vakuumniveaus innerhalb des Modells überwacht. Das Gerät kann das Vorhandensein eines Vakuums bis auf 10-5 Torr erkennen und überwachen und die Wafer-Handhabungsgeschwindigkeit und -bewegung entsprechend steuern. Dieses System stellt sicher, dass die Vakuumwerte im eingestellten Bereich bleiben und die Wafergeräte mit höchster Präzision gehandhabt werden. SPA-300 wird auch mit der Kapazität für Vakuum-Prozessintegration entwickelt. Dazu gehört eine automatisierte Vakuumsensor-Kalibriereinheit, mit der Anwender für jeden einzelnen Prozessschritt das optimale Vakuumniveau einstellen können. Darüber hinaus kann die Maschine mit einer zusätzlichen Dielektrikumspumpe ausgestattet werden, die ihre Vakuumanforderungen weiter unterstützt. Schließlich ist INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Wafer zu schützen. Diese Sicherheitsmerkmale umfassen eine eingebaute Notluftpause, einen vollständig geschlossenen Sicherheitsverriegelungsschalter und redundante Not-Aus-Tasten. All diese Merkmale sorgen dafür, dass auch bei einem Unfall alle Wafer sicher und sicher bleiben. Insgesamt ist SPA-300 ein äußerst fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Handling-Tool für den Einsatz in komplexen Vakuumprozessen. Es bietet beispiellose Sicherheit und Kontrolle über die Handhabung von Wafern sowie wiederholbare und genaue Ergebnisse. Mit seinem einzigartigen Design und seiner intuitiven Funktionalität kann dieses Asset Anwendern helfen, ihre gewünschten Ergebnisse für hochmoderne Anwendungen zu erzielen.