Gebraucht IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9160691 zu verkaufen

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT ist ein automatisierter Wafer-Handler, der für Präzisionsautomatisierung und hohen Durchsatz für die Waferbearbeitung entwickelt wurde. IRVINE OPTICAL APS 2XT ist eine vollautomatische Wafertransportausrüstung, die sich einfach mit einer Vielzahl von Werkzeugen und Prozessen integrieren lässt. BROOKS AUTOMATION APS 2XT wurde entwickelt, um Verzögerungen zu reduzieren und menschliche Fehler zu begrenzen und gleichzeitig volle Prozessautomatisierung, Flexibilität und Skalierbarkeit anzubieten. Es ist mit mehreren Optionen für Wafer-Lagerung, Verarbeitung, Handhabung und Trocknung ausgestattet, die alle auf die individuellen Anwendungsanforderungen des Kunden zugeschnitten werden können. APS 2XT ist in der Lage, Wafer von 200 mm, 300 mm und 400 mm Durchmesser mit einer maximalen Geschwindigkeit von 120 Wafern pro Stunde zu handhaben, was den gesamten Prozess vereinfacht. Darüber hinaus ist das System in der Lage, zwischen Scheiben unterschiedlicher Durchmesser und Dicken zu unterscheiden. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT kann in einer Reihe von Waferbearbeitungsanwendungen verwendet werden, wie dünne und dicke Filmabscheidung, Ätzen, Verdünnen, Würfeln und Läppen, Waferbacken und Testen. Darüber hinaus kann die Maschine mit einer Vielzahl unterschiedlicher Pumpen und Zubehörteile wie Rückdruckreglern, Ventilen und Behälterfüllern sowie optionalen integrierten Messtechnik-Systemen konfiguriert werden. IRVINE OPTICAL APS 2XT ist einfach zu bedienen und erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners. Die Touchscreen-Benutzeroberfläche des Geräts bietet Echtzeit-Feedback, sodass der Benutzer den Prozess während des Fortschritts überwachen und verfolgen kann. Darüber hinaus kann mit der Optimierungssoftware der Maschine beliebige Betriebsparameter identifiziert und eingestellt werden, um den Prozess zu optimieren. Um Zuverlässigkeit und wiederholbare Leistung zu gewährleisten, ist BROOKS AUTOMATION APS 2XT mit einer Vielzahl von Funktionen aufgebaut. Dazu gehören Bewegungssteuerungskomponenten und Vakuumsysteme sowie eine robuste mechanische Konstruktion, die den Strenge des 24/7-Betriebs standhält. Das exzellente mechanische Design der Maschine reduziert auch Vibrationen und Geräuschpegel, so dass es für Reinraumbedienungen geeignet ist. Schließlich ist die Maschine mit leicht zugänglichen Türen und Automatisierungsdecks für einfache Inspektion und Wartung ausgestattet. Insgesamt bietet APS 2XT einen zuverlässigen und vielseitigen Wafer-Handler für Waferbearbeitungsanwendungen. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS kombiniert Präzisionsautomatisierung, hohen Durchsatz und einfach zu bedienende Steuerungssysteme 2XT ist eine wertvolle Ergänzung zu jeder Verarbeitungsumgebung.