Gebraucht JEL GHR4180-280-PM-02931 #9111139 zu verkaufen

JEL GHR4180-280-PM-02931
ID: 9111139
Robot P/N: 10308117.
JEL GHR4180-280-PM-02931 wafer handler ist ein hochmodernes automatisiertes Werkzeug zur Handhabung von Wafern für die Halbleiterherstellung. Es wurde entwickelt, um eine hochgenaue Bewegung großer Substrate (wie 3 Zoll, 4 Zoll und 6 Zoll Wafer) zu ermöglichen und gleichzeitig die Hochgeschwindigkeitsproduktion und verbesserte Produktausbeute zu unterstützen. JEL GHR 4180-280-PM-02931 ist mit einem modularen Konzept konzipiert, das es einfach macht, seine Anwendung auf die Anforderungen der Kunden zu erweitern. Er weist sowohl eine innere als auch eine äußere Kammer mit einem Drucksensor innerhalb der Kammer auf. Die innere Kammer beherbergt acht (8) Waferstufen, die entweder bis zu 8 Substrate gleichzeitig oder ein großes einzelnes Substrat mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen können. GHR4180-280-PM-02931 können Substrate bis zu 10 mm/s bewegen, und es enthält zwei Linearmotoren, um eine unidirektionale und umkehrbare Bewegung zu erreichen. Es ist mit einem Ionisator zur Verringerung der elektrostatischen Entladung sowie einem CCD-Vision-System zur präzisen Positionierung ausgestattet. Das integrierte Steuerungssystem verwendet Encoder und Sensoren, die eine genaue Positionsrückmeldung für eine präzise Bewegungs- und Wafer-Handhabung bieten. Neben seinen Wafer-Stufen umfasst GHR 4180-280-PM-02931 auch einen Vakuumfutter-Tisch, Hebe- und Senkmechanismen und einen Kipptisch, der leicht an jede Substratgröße angepasst werden kann. Die Hebe- und Senkmechanismen ermöglichen eine präzise Platzierung der Wafer innerhalb von 10 µm der Substratoberfläche, während der Kipptisch eine Feinabstimmung des Kippwinkels ermöglicht. JEL GHR4180-280-PM-02931 ist mit benutzerfreundlicher Software ausgestattet, die eine einfache Bedienung und individuelle Programmierbarkeit ermöglicht. Es kann in einer Vielzahl von automatisierten Produktionslinien sowie manuellen Chargenoperationen eingesetzt werden. Das Werkzeug ist so konzipiert, dass es mit einer Vielzahl von peripheren Geräten, einschließlich Robotern, Wafer-Ausrichtungssystemen und anderen Wafer-Handhabungssystemen, verbunden werden kann. Insgesamt ist JEL GHR 4180-280-PM-02931 ein modernster Wafer-Handler für die automatisierte Halbleiterproduktion. Es kann große Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll handhaben und ist mit fortschrittlichen Funktionen wie zwei Linearmotoren, einem Ionisator, einem Vision-System und einem Kipptisch zur Feinabstimmung des Neigungswinkels ausgestattet. Seine benutzerfreundliche Software macht es einfach, mit Peripheriegeräten zu integrieren und ermöglicht eine individuelle Programmierbarkeit, die den genauen Anforderungen des Benutzers entspricht.
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