Gebraucht JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819 zu verkaufen

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L ist ein hochpräziser Wafer-Handler, der speziell für den Umgang mit empfindlichen Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist mit einem fortgeschrittenen linearen Positionierer ausgestattet, um eine präzise Ausrichtung des Wafers während der Handhabung zu gewährleisten. Dieser Positionierer ist mit einer Steuereinheit verbunden, die eine hohe Genauigkeit der Bewegungen des Positionierers gewährleistet. Der SLR 200 LPTS/L verfügt über drei unabhängige Bewegungsachsen (X, Y, R) für maximale Flexibilität bei der Handhabung von Wafern jeder Größe und Form. Die X-Achse kann den Wafer von 135mm auf 270mm verschieben und die Y-Achse kann den Wafer von 165mm auf 280mm verschieben, während die R-Achse den Wafer von 375 ° auf unendlich hohe Drehung verschieben kann. Der SLR 200 LPTS/L ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu handhaben, einschließlich aller Arten von Silizium, SiGe, GaAs und anderen Materialien. Es unterstützt Wafer jeder Größe und Form, von 200mm bis 330mm im Durchmesser. Darüber hinaus ist es in der Lage, eine breite Palette von Verfahren von Reinigung und Entkeimung, zum Ätzen und Polieren durchzuführen. Es ist auch in der Lage, komplexe Waferinspektions- und messtechnische Aufgaben zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt der SLR 200 über umfassende Sicherheitsmerkmale wie die Wafer-Erkennung während der Handhabung und Warnmechanismen zur Erkennung möglicher Schäden. Das SLR 200 LPTS/L wird mit einem ausgeklügelten Softwarepaket geliefert, das Softwareprotokolle zur Skalierung getesteter Prozesse, Prozessmusterplanung, automatisierte Testsequenzen und andere erweiterte Funktionen umfasst. Das Softwarepaket ermöglicht auch die Fernsteuerung und Überwachung der Maschine von jedem Ort aus. Insgesamt ist JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L ein hochpräziser Wafer-Handler, der für hochgenaue Handhabung und automatisierte Verarbeitung verschiedener Substrate in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Der fortschrittliche lineare Positionierer, der erweiterte Bewegungsbereich, die umfassenden Sicherheitsmerkmale und das ausgeklügelte Softwarepaket machen ihn besonders für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsaufgaben geeignet.