Gebraucht KAWASAKI TS220-D511S #9088881 zu verkaufen

KAWASAKI TS220-D511S Wafer Handler ist eine Massenproduktionsanlage, die entwickelt wurde, um empfindliche Halbleiterscheiben bis zu 8 ″ präzise und zuverlässig zu übertragen, zu drehen und zu inspizieren. Die eingesetzten fein ausbalancierten und robusten Mechanismen gewährleisten einen hohen Durchsatz bei minimaler Schädigung empfindlicher Wafer sowie eine hochpräzise und konsistente Ausrichtung während des gesamten Zyklus. TS220-D511S besteht aus mehreren Modulen, darunter Hauptprozessoren, Rotator, Förderer und Staplereinheiten. Die Hauptprozessoreinheit weist eine Steuerung auf, die von den Rotator-, Förder- und Staplereinheiten empfangene Signale verarbeitet, um den Transport von Wafern zwischen den verschiedenen Bauteilen zu steuern, sowie um Anpassungen im Handumdrehen vornehmen zu können. Die Rotatoreinheit verwendet einen bürstenlosen Motor mit hohem Drehmoment, um Wafer genau zu drehen, um eine Drehgenauigkeit zu erreichen, die bei herkömmlichen Schrittmotoren nicht möglich ist. Der Förderer verwendet eine Kombination aus Saug- und Falltechniken, um eine gleichbleibende Bewegung von Wafern zu gewährleisten, wobei die Glätte der Bewegung eine beeindruckende Genauigkeit erreicht. Die Staplereinheit ist eine äußerst zuverlässige und konforme Einheit und ist für die sichere Aufnahme von bis zu fünfundsechzig 8 ″ Wafern sowie mehreren kleineren Wafern ausgelegt. KAWASAKI TS220-D511S wurde entwickelt, um zuverlässig und effizient zu laufen und Leistungsstandards von 1 μ m in der Waferübertragungspositioniergenauigkeit, 0,02 ° in der Drehgenauigkeit und 10 ms in der Waferbearbeitungszeit zu erreichen. Es verfügt auch über ein eingebautes Vision-System, das eine automatisierte Wafer-Inspektion, Verbesserung des Durchsatzes und Beseitigung von Defekten im Prozess ermöglicht. Zusätzlich wird eine ereignisgetriebene eigenständige Bedieneinheit eingesetzt, um einen reibungslosen und zuverlässigen Betrieb der Maschine zu gewährleisten. Weitere Merkmale von TS220-D511S sind Wartungsunterstützung durch integrierte Diagnosen, automatische Benachrichtigung über den Austausch von Teilen, sichere Programmierung über einen PC und vollständige Rückverfolgbarkeit von Prozessparametern, die alle zu mehr Effizienz und der Gewährleistung einer optimalen Bedienung und Produktqualität beitragen. Am wichtigsten ist, dass KAWASAKI TS220-D511S sowohl erschwinglich als auch einfach zu warten ist und eine zuverlässige und wirtschaftliche Lösung für die Anforderungen der Halbleiterindustrie bietet. Die Vielzahl zusätzlicher Merkmale machen TS220-D511S zu einer attraktiven Massenproduktionsmaschine für anspruchsvolle Halbleiterproduktionsprozesse.