Gebraucht KENSINGTON CSMT-4 #9078959 zu verkaufen
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ID: 9078959
Wafergröße: 6"
Station Sorting/Mapping Tool System, 6"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4 ist ein fortschrittlicher automatisierter Wafer-Handler für die Produktion von 300-mm-Silizium-Wafern für die Halbleiterindustrie. Der Handler ist in der Lage, bis zu vier (4) Wafer zu transportieren und in eine CVD-Anlage oder Prozesskammer zu laden. Es enthält einen Roboterarm, der die Wafer von einer Kassette aufnimmt und in das Bearbeitungssystem legt. Der Handler enthält auch eine Vakuumeinheit zur Handhabung von Wafern während Prozesszyklen. CSMT-4 Wafer-Handler bietet eine Vielzahl von Funktionen, die ihn zu einem zuverlässigen und vielseitigen Werkzeug für die automatisierte Waferbearbeitung machen. Sein fortschrittlicher Roboterarm ermöglicht eine hohe Positioniergenauigkeit und glatte, präzise Bewegungen, so dass er eine Vielzahl von Wafergrößen aufnehmen kann. Die Vakuummaschine ist so ausgelegt, dass die Wafer während eines Prozeßzyklus sicher an ihrem Platz bleiben, wodurch die Chancen eines Waferbruchs durch Luftturbulenzen oder Vibrationen eliminiert werden. Das Erkennungswerkzeug kann automatisch die Größe des Wafers erkennen und bietet Echtzeit-Feedback und genaue Positionsinformationen, auch für große Wafergrößen. Der Handler verfügt zudem über eine leicht zugängliche Abdeckung zur einfacheren Wartung und Inspektion ohne Werkzeug oder Demontage des Roboterarms. Die integrierte Steuerung ermöglicht die Speicherung und Ausführung von Prozedurprogrammen, ohne den Roboterarm anweisen zu müssen. Es gibt auch ein integriertes Sicherheits- und Verriegelungsmodell, das einen vollständigen Schutz der internen Komponenten der Maschine bietet, so dass es sicher in einer industriellen Umgebung eingesetzt werden kann. KENSINGTON CSMT-4 ist ein bewährter, zuverlässiger automatisierter Wafer-Handler, der den höchsten Produktions- und Leistungsanforderungen der Halbleiterproduktionsindustrie gerecht wird. Es bietet eine zuverlässige, sichere und wirtschaftliche Lösung für die Handhabung und Verarbeitung von Siliziumscheiben mit hoher Positionsgenauigkeit und minimalem menschlichen Eingriff. Der Handler ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen und Prozesszyklen aufzunehmen, was ihn zu einer zuverlässigen Lösung für die Serienproduktion und eine verbesserte Prozesseffizienz macht.
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