Gebraucht KENSINGTON CSMT-4 #9078960 zu verkaufen
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ID: 9078960
Wafergröße: 8"
Station Sorting/Mapping Tool System, 8"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4 ist ein Wafer-Handler für den manuellen Austausch zwischen einer Prozesskammer und einer Waferkassette. Es ermöglicht mit seiner vierachsigen Schrittmotorsteuerung eine präzise und saubere Handhabung manueller Wafer. CSMT-4 ist für präzise Wafer-Handhabung geeignet und verfügt über eine Vielzahl von Funktionen für verschiedene Wafer-Herstellungs- und Testanforderungen. KENSINGTON CSMT-4 ist mit einer flexiblen Struktur konzipiert, die den Einsatz von 2-Zoll bis 8-Zoll-Wafern ermöglicht. Die Einheit unterstützt auch die High-Density-Kassetten-Pod-Konstruktion, die eine maximale Anzahl von Wafern in jeder Kammer ermöglicht. Das Gerät ist mit einem Präzisionsschrittmotor ausgestattet, der eine überlegene Genauigkeit für präzises Wafer-Handling und -Ausrichtung bietet. Das Gerät bietet auch eine kinematikbasierte Vorausrichtung und eine patentierte exzentrische Getriebesteuerung, die die Bewegungsabläufe verringert. CSMT-4 bietet eine einfache und schnelle Einrichtung mit automatisierter Waferausrichtung, optimierte automatische Ausrichtung für unübertroffenen Durchsatz und Leistung. Das Gerät ist mit einem Vision-System ausgestattet, das eine präzise Ausrichtung des Wafers auf die Prozessstation gewährleistet. KENSINGTON CSMT-4 ist für 6 „bis 8“ Wafer mit einer maximalen Gewichtskapazität von 80g pro Wafer ausgelegt. Es ist auch in der Lage, sowohl einzelne Wafer und Kassettenbelastung zu handhaben, die maximale Flexibilität und Zuverlässigkeit ermöglicht. Das Gerät ist mit einem Sieben-Bit-Code ausgestattet, der eine zuverlässige Datenübertragung vom PC zum Controller gewährleistet. Sicherheit hat für CSMT-4 Priorität. Es ist mit einfachen Bedienelementen und einer intuitiven Benutzeroberfläche benutzerfreundlich gestaltet. Das Gerät ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie einer Vakuumverengung ausgestattet, die Waferbruch und Airbag-Wafer- Flip-Arm reduziert. Das Gerät ist außerdem mit einer integrierten Sicherheitseinheit ausgestattet, die fehlerhafte Operationen überwacht und meldet. KENSINGTON CSMT-4 ist für eine effiziente Nutzung konzipiert. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und erweiterte Funktionen machen es einfach zu bedienen und zu warten. Das Gerät verfügt zudem über eine Vielzahl von Optionen wie eine Wafermessmaschine, eine Gasüberwachungseinheit und ein integriertes Wafer-Positionsüberwachungswerkzeug. Darüber hinaus ermöglicht die modulare Konstruktion eine einfache Anpassung und Aktualisierung, wann immer der Kunde es benötigt. Insgesamt ist CSMT-4 ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler für den manuellen Austausch von Wafern zwischen Bearbeitungskammern und Waferkassetten. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, einschließlich präziser Wafer-Handhabung, automatisierte Wafer-Ausrichtung, eine Vision Asset und Sicherheitsfunktionen für maximalen Schutz. Die Einheit ist auch einfach einzurichten und zu warten, so dass es die ideale Wahl für verschiedene Wafer Herstellung und Tests Anforderungen.
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