Gebraucht KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868 zu verkaufen

KLA Phoenix D 1.2 ist ein Hochleistungs-Wafer-Handler, der für die Front-End-Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Der Phoenix D 1.2 verfügt über umfangreiche Automatisierungsfunktionen, die es ihm ermöglichen, als komplette, eigenständige Ausrüstung zu fungieren, die alle Aspekte der Wafer-Handhabung verwalten kann. Es wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Substraten zu arbeiten, wie Silizium, kristallines Quarz und Silizium-on-Isolator (SOI). Der Phoenix D 1.2 verfügt über einen Hochleistungsrahmen, der Stabilität und Unterstützung bei der Handhabung von Wafern bietet. Es verfügt über ein automatisiertes Pucktransportsystem, um eine effiziente, genaue Bewegung von Wafer-Pucks von der Transportstation zur Station bereitzustellen. Diese Einheit trägt dazu bei, das Verschmutzungsrisiko durch manuelle Handhabung zu minimieren und gewährleistet auch die Genauigkeit der Waferposition während des Transports. Es verfügt außerdem über eine integrierte Vakuummaschine, die hilft, die einzelnen Wafer sicher und sicher von den Vorratsbehältern zur Bearbeitungsstation zu transportieren. Der Phoenix D 1.2 verfügt auch über erweiterte Bewegungssteuerungsfunktionen, die es ermöglichen, jeden Wafer während des Transports präzise zu drehen und zu neigen. Es verfügt über zwei Vakuum-Pods, die bis zu drei Wafer pro Pod halten können, und eine maximale Geschwindigkeit von 8,3 Zoll pro Sekunde, so dass eine schnelle und genaue Wafer-Handhabung. Der Phoenix D 1.2 unterstützt eine breite Palette von Schnittstellen, um die Kommunikation mit anderen Wafer-Handhabungssystemen und -Instrumenten zu erleichtern. Es verfügt über mehrere Eingangs-/Ausgangsanschlüsse für die Verbindung mit externen Geräten, einschließlich eines USB-Ports, RS-232-Ports, Ethernet-Ports und analogen Ports. Der Phoenix D 1.2 enthält auch fortschrittliche Software zur Steuerung aller Aspekte des Wafer-Handhabungsprozesses, einschließlich Bewegungssteuerung, Temperaturregelung und Kommunikation zwischen Geräten. Der Phoenix D 1.2 entspricht den SEMI-Standards, einschließlich SEMI- E77 für Wafer-Handling-Systeme und SEMI- C85 für die Schnittstelle der Prozessausrüstung. Dies gewährleistet ein hohes Maß an Zuverlässigkeit, Prozessgleichmäßigkeit und Kompatibilität mit anderen Wafer-Handling-Systemen und Instrumentierung. Insgesamt ist TENCOR Phoenix D 1.2 ein leistungsfähiger Wafer-Handler, der für effizientes, genaues und zuverlässiges Wafer-Handling entwickelt wurde. Seine umfangreichen Automatisierungsfunktionen sowie die Konformität mit SEMI-Standards machen es zu einer idealen Wahl für die Front-End-Halbleiterverarbeitung.