Gebraucht KLA / TENCOR Single FOUP / FIM handler for SP1 #9255159 zu verkaufen
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ID: 9255159
KLA/TENCOR Single FOUP/FIM Handler für SP1 ist eine Wafer Handhabung Ausrüstung entwickelt, um zu transportieren und zu speichern Halbleiterscheiben. Es wird verwendet, um Wafer von einem Ort zum anderen in einer sauberen und kontaminationsfreien Umgebung zu übertragen. Der Handler ist mit einem automatischen FOUP (Front Opening Unified Pod) oder FIM (Front-Opening Integrated Module) ausgestattet und speziell für den Einsatz im SP1 SmartSpectro Photomask Inspektionssystem von KLA konzipiert. Der Handler besteht aus einer Basisstation, einem oberen Transportmodul und einem oder mehreren Transportträgern. Die Basisstation ist einfach eine Basis, wo der Handler platziert wird und höhenverstellbar ist. Der Handler kann auch auf einer nassen Bank oder einer anderen Oberfläche montiert werden. Das obere Transportmodul dient zum Anheben des Wafers auf und ab der Basisstation. Es kann zur Wartung oder Reinigung entfernt werden. Die Transportträger dienen dazu, die Wafer aus der FOUP einzusetzen und zu entfernen und von einem Ort zum anderen zu bewegen. Die Träger können auch zur Reinigung entfernt werden. Die FOUP (Front Opening Unified Pod) und FIM (Front Opening Integrated Module) sind so konzipiert, dass sie den Wafer sicher halten und vor Kontamination schützen. Sie bestehen aus einem inerten Material, das verhindert, dass der Wafer mit Staub und anderen Verunreinigungen in Berührung kommt. Der FOUP ist eine integrierte Montageeinheit zum Schutz des Wafers und zur konsistenten Ausrichtung, während der FIM für die Unterstützung von bis zu 16 Wafern ausgelegt ist, so dass sie parallel gehandhabt werden können. Der Handler ist so konzipiert, dass er einen wiederholbaren und zuverlässigen Betrieb ermöglicht. Es verfügt über eine Maschine mit geringer Reibung, um Kratzer und Verschmutzungen zu minimieren, und ist darauf ausgelegt, das Risiko menschlicher Fehler während des Betriebs zu minimieren. Der Handler verfügt auch über eine automatische Kalibrierung des FOUP oder FIM und eine einziehbare Vakuumdüse, die den Wafer sicher aufnimmt und platziert. Die FOUP und FIM sind auch so konzipiert, dass sie austauschbar sind, sodass Benutzer schnell und einfach zwischen mehreren Waferbearbeitungsaufträgen wechseln können. KLA Single FOUP/FIM Handler für SP1 ist ein zuverlässiges und robustes Wafer-Handling-Tool, das zur Maximierung der Effizienz und zur Reduzierung der Kosten entwickelt wurde. Es ist ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen, und seine fortschrittlichen Eigenschaften sorgen dafür, dass Wafer sicher und zuverlässig transportiert werden.
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