Gebraucht MECS UTC-800P #9097821 zu verkaufen

Hersteller
MECS
Modell
UTC-800P
ID: 9097821
Wafer handling robot, parts system Controller Wafer paddle not included.
MECS UTC-800P ist ein Wafer-Handler, der in Halbleiterfabriken für den Transfer von bis zu 8 "-Wafern eingesetzt wird. Der Handler wurde entwickelt, um CVD, Etch, Diffusion, Spin-rinse-dry, Lithographie, PVD und verwandte Prozesse zu unterstützen. MECS UTC 800 P verfügt über einen hohen Durchsatz von bis zu 60 Wafern pro Stunde und kann präzise und zuverlässige Transfervorgänge bieten. Das Tischdesign ermöglicht eine saubere und einfache Integration in bestehende Prozessanlagen und die innovative moderne Architektur von Wafer-Handling-Komponenten sorgt für einen hocheffizienten Betrieb für zeitempfindliche Prozesse. Der Wafer-Handler verfügt über eine „Loadlock“ -Ausrüstung, die Stickstoff- oder saubere Luftzufuhr für den Wafer-Transfer im gesamten System verwendet. Diese Einheit reduziert den Luftaustausch zwischen der Transferkammer und der Außenumgebung und ermöglicht eine effiziente Wartung der Reinraumatmosphäre. UTC-800P wird von der Vorderseite mit 8 "Schlitzkassetten, Kassetten mit Magazinen und FOUP beladen. Der Handler kann die Position und die Geschwindigkeit jedes Roboterarms steuern und Wafer mit fehlerhafter Position oder Orientierung aktiv ausschalten. Es hat auch eine Schutzplatte, um verirrte Wafer abzulehnen. Darüber hinaus ist es mit einer optischen und schwer beweglichen Positionskontrollmaschine ausgestattet, um eine präzise Bedienung zu gewährleisten. Sicherheit ist ein Schlüsselmerkmal im UTC 800 P Design. Es verfügt über ein Zwei-Punkt-Wafer-Führungswerkzeug und entspricht SEMI S2/FSE Standards. Der Handler wurde mit Kollisionserkennungs- und Präventionstechnik, einer robusten Rahmenstruktur und einem verstärkten Körper für einen sicheren Betrieb entwickelt. Es verfügt auch über dynamische Wafer Bruch Prävention, dynamische Wafer Ecke Erkennung, zusammen mit einer Not-Aus-Funktion und eine dynamische Verriegelung Asset. MECS UTC-800P ist ein leistungsfähiger, zuverlässiger und hochsicherer Wafer-Handler für die Halbleiterindustrie. Seine innovativen Komponenten und strengen Sicherheitsstandards sind so konzipiert, dass sie auch bei anspruchsvollsten Vorgängen präzise Übertragungen ermöglichen und somit die perfekte Wahl für Fabrikprozesse sind.
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