Gebraucht MECS UTX-1100 #66910 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 66910
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Wafer handler, up to 8"
UTX1100 robot
CS1000 controller
OF250 wafer aligner and controller
Stored in a cleanroom
2000 vintage.
MECS UTX-1100 ist ein Wafer-Handler, der speziell für die Halbleiterverarbeitung mit höchster Präzision entwickelt wurde. Der Handler basiert auf einer Arbeitsfläche von 450 Millimetern um 450 Millimeter und arbeitet mit einer Vakuumfangausrüstung. Mit diesem System können Wafergrößen von 75 Millimetern bis 300 Millimetern Durchmesser effizient gehandhabt werden. Die Zwei-Achsen-Bewegungseinheit ist dazu ausgelegt, den gedrehten Wafer durch alle Operationen des gesamten Wafer-Handhabungsprozesses zu bewegen. Der Motorantrieb kann Geschwindigkeiten bis zu 300 mm/s erreichen, was eine schnelle, genaue Bewegung zwischen Waferkassetten und Bearbeitungswerkzeugen ermöglicht. Die robuste Konstruktion von UTX-1100 umfasst eine Schutzkassettengehäusekammer, die Wafer vor Verschmutzung schützt, sowie eine spezielle Doppelkammerschutzmaschine, die einen ordnungsgemäßen Betrieb auch unter sehr anspruchsvollen Bedingungen gewährleistet. Der Handler umfasst auch ein Präzisionslinearcodierwerkzeug und ein Feineinstellmodul, das eine genaue Feinpositionierung und -bewegung gewährleistet. Sein ausgeklügelter Software-Controller kann einfach programmiert und verwaltet werden, um eine effiziente Automatisierung von Workflows zu ermöglichen und Ausfallzeiten durch Fehler oder Fehlfunktionen zu reduzieren. MECS- UTX-1100 können den Druck der Vakuumkupplungen und Greifer steuern, um sicherzustellen, dass der Wafer während der Bearbeitung fest gehalten wird, was die Möglichkeit eines Rutschens oder einer Verschiebung während des Betriebs eliminiert. Das integrierte Auto-Bed Alignment Asset hilft dabei, die Position der Waferkassette automatisch auf maximale Effizienz einzustellen. UTX-1100 ist für einfache Wartung konzipiert, so dass es ideal für Serienproduktionslinien in der Halbleiterindustrie ist. Seine Edelstahlkonstruktion und der integrierte Staub- und Flüssigkeitsschutz machen ihn sehr langlebig und ermöglichen den sicheren und zuverlässigen Umgang mit Wafermaterialien.
Es liegen noch keine Bewertungen vor