Gebraucht MGI ACT-1003 V8 #9170549 zu verkaufen
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MGI ACT-1003 V8 ist ein automatisiertes Wafer Handling für Forschung und Entwicklung. Das System ist mit einer vollautomatischen zweiachsigen Portaleinheit, einer motorisierten Waferfutter-Baugruppe und zwei linearen Triebwerken mit hoher Zuverlässigkeit ausgestattet. Die Maschine wurde entwickelt, um Wafer unterschiedlicher Größe und Dicke in verschiedene Bearbeitungsmaschinen in einer Reinraumumgebung zu übertragen. Das zweiachsige Portalwerkzeug ist in der Lage, einen breiten Bereich mit enger Genauigkeit zu scannen, indem das Wafer-Spannfutter auf die gewünschten Stellen gerichtet wird. Dies wird durch hohe Festigkeit und geringe Trägheit Servomotoren unterstützt, die Geschwindigkeiten bis zu 3000 mm/sec erreichen können. Zusätzlich verwendet die Portalanlage ein Servosteuerungsmodell für die doppelte Führungsschiene, um die Präzision und Genauigkeit der Waferbewegung zu verbessern. Die motorisierte Wafer-Chuck-Baugruppe der Ausrüstung ist in der Lage, bis zu 8 Wafer gleichzeitig zu halten. Es enthält einen präzisen pneumatischen Spannmechanismus, um sicherzustellen, dass Wafer Handhabung und Positionierung sicher und genau ist. Die motorisierte Wafer-Futterkonstruktion unterstützt auch die Ausrichtung, Orientierung und Positionierung von Wafern. Zusätzlich weist das Wafer-Handling-System eine On-Board-Vision-Einheit auf, die zur Fehlererkennung und Wafer-Inspektion dient. Die beiden hochzuverlässigen Linearantriebe sorgen für eine stabile, robuste und reibungslose Bewegung bei der Handhabung der Wafer. Die kompakte Größe und die integrierte Luftverteileranordnung ermöglichen eine hohe Leistung und die schnelle Handhabung großer Wafer. Dies führt zu einem stark verbesserten Durchsatz und einer verringerten Verunreinigungsgefahr. ACT-1003 V8 ist eine Hochleistungsmaschine, die unter Berücksichtigung von Sicherheit und Zuverlässigkeit entwickelt wurde. Es bietet eine innovative Wafer-Handling-Lösung für eine Vielzahl von Reinraumanwendungen. Darüber hinaus sorgen seine fortschrittlichen Funktionen wie das doppelte Führungsschienen-Servosteuerungswerkzeug und das On-Board-Vision-Asset für eine zuverlässige und genaue Wafer-Handhabung.
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