Gebraucht MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 #9205259 zu verkaufen
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ID: 9205259
Robot
With CR2 controller cable
(2) 2D-TZ378 Interface cards
R56TB Pendant teach panel.
MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 Wafer Handler ist ein Mitglied der RH12 Familie von Wafer Handlern und liefert und bietet zuverlässige High-Speed-Leistung für die Wafer-Verarbeitung. Es ist eine halbautomatische Wafer-Lademaschine, die entwickelt wurde, um 12-Zoll oder kleinere Wafer mit hoher Präzision und geringem Risiko zu verwalten und zu verarbeiten. RH12-SDH8535-S12 ist ein statischer Handler und ist mit zwei unabhängigen Paletten ausgestattet, die eine effiziente Waferbearbeitung ermöglichen. Eine der Paletten wird für die Waferbeladung verwendet, die andere für die Waferentladung. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 verfügt über einen erweiterten Wafer Identification Code (WIC), der eine präzise und fehlerfreie Handhabung gewährleistet. Das WIC-System ist in der Lage, die Wafer durch einen eindeutigen Code zu identifizieren, der in jeden Wafer eingebettet ist und der Maschine hilft, den Standort des Wafers innerhalb der Palette zu identifizieren. RH12-SDH8535-S12 verfügt auch über einen manuellen Betriebsmodus und einen computergestützten Betriebsmodus. Im manuellen Betriebsmodus können Bediener den Status des Wafer-Handhabungsprozesses manuell überprüfen und bestätigen sowie die Verarbeitungsgeschwindigkeit und Parameter steuern und anpassen. Im computergesteuerten Betriebsmodus kann die Maschine gleichzeitig von einem Bediener und einem Controller verwaltet werden (via Pascal Language). Die Steuerung kann auch über eine Ethernet-Verbindung ferngesteuert werden. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 ist mit einer einfach zugänglichen Kassettenstation ausgestattet, die das Be- und Entladen von Wafern vereinfacht. Es verfügt außerdem über eine Wafersatteleinheit, die den Waferdurchmesser automatisch zur korrekten Handhabung misst. RH12-SDH8535-S12 verfügt auch über eine Wafer-Tracking-Maschine, die den Wafer-Bearbeitungsstatus überwacht und aufzeichnet. Die Maschine hat einen modularen Aufbau, der einfach mit anderen modularen Einheiten verbunden werden kann, um zusätzliche Funktionen für den Wafer-Handler bereitzustellen. Es ist auch in der Lage, mit Wafer-Reclaim-Systemen, Oxidation, Abscheidung, Photolithographie und Ätzsystemen über den Ethernet-Anschluss zu verbinden. Schließlich ist MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 mit einem industriellen Betriebsmittel (OS) ausgestattet und unterstützt die wichtigsten Anforderungen an die Umwelt, Sicherheit und Sicherheit von Wafern wie SEMI- E84/E122. Die eigene, integrierte Software ermöglicht einfache Überwachungs-, Diagnose- und Reporting-Funktionen und bietet eine sichere und zuverlässige Plattform für den Waferbetrieb.
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