Gebraucht NADATECH RS2 #9314753 zu verkaufen
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ID: 9314753
System
Steel frame
Steel bottom plate
Powder coated panels
EQUIPE ATM-407 Robot and robot track with vacuum backside
NADATECH Vacuum end effector with SURESCAN for wafer carrier mapping
(2) ASYST Loadports, 12" for FOUP and FOSB
INTEL System operating: >1,000 MHz
RAM: 1G
SSD HD: 80G
DVD Drive
LCD Monitor, 17"
Mini keyboard
Trackball mouse
Operating system: Windows XP.
NADATECH RS2 ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler für präzise, automatisierte Handhabung und Steuerung von Halbleiterscheiben. Sein fortschrittliches Design bietet hochpräzise Bewegung, ausgezeichnete Prozesskontrolle und außergewöhnliche Vielseitigkeit. RS2 verfügt über einen 5-achsigen Roboterarm mit einer maximalen Reichweite von 755 mm und einen Deltakopf mit 6 Freiheitsgraden, der Wafer bis zu 12 Zoll Größe präzise handhaben kann. Darüber hinaus bietet seine 3-dimensionale Zählerausgleichsfunktion eine überlegene Genauigkeit bei der Handhabung von Wafern. NADATECH RS2 ist mit einer automatisierten pneumoelektrischen Partikelerkennungsanlage ausgestattet, die zur Erkennung von Unvollkommenheiten, Kratzern und Partikeln auf der Oberfläche des Wafers ausgelegt ist und seine Handhabungsanweisungen automatisch für einen sicheren und präzisen Betrieb anpasst. Zusätzlich ist eine Präzisionsstufe zur automatisierten mehrachsigen Ausrichtung von Wafern enthalten. RS2 umfasst auch ein Temperaturlüftungssystem, um optimale Wafer-Umgebungsbedingungen zu erhalten. NADATECH RS2 verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-Servoeinheit mit offener Schleife, die eine hochgenaue und wiederholbare Positionierung mit konsistenter und wiederholbarer Genauigkeit innerhalb von 25 Mikrometern ermöglicht. Dieser fortschrittliche Wafer-Handler kann je nach Waferdurchmesser und Dicke bis zu 50 Wafer gleichzeitig aufnehmen und eignet sich somit ideal für Anwendungen mit hohem Volumen. Der fortschrittliche Wafer-Spannmechanismus erhöht die Flexibilität der Verwendung von RS2 zur Handhabung von Wafern verschiedener Größen, Formen und Materialien. NADATECH RS2 ist aufgrund seiner außergewöhnlichen Präzision und Genauigkeit die ideale Lösung für Anwendungen mit dünnem Wafer-Handling, ultrapräziser Montage und anderen extrem hohen Präzisionsanforderungen. Für mehr Sicherheit und Komfort wurde RS2 entwickelt, um sowohl in einem vollautomatischen als auch in einem manuellen Modus zu arbeiten. Diese Flexibilität ermöglicht es dem Anwender, die Maschine bei Bedarf manuell zu bedienen oder vollautomatisierten Betrieb für einen höheren Durchsatz einzusetzen. Darüber hinaus umfasst NADATECH RS2 eine Vielzahl von Funktionen wie Wafer Thick Gauging, Auto-Retrieval, programmierbare Pick-and-Place-Routinen und benutzerdefinierte Teile-Handling-Bibliotheken für maximale Prozesssteuerung. Insgesamt ist RS2 die perfekte Lösung für die präzise Handhabung und Steuerung von Halbleiterscheiben. Sein fortschrittliches Design bietet außergewöhnliche Vielseitigkeit, Präzision und Genauigkeit für Anwendungen mit hohem Volumen und ultrapräziser Waferbehandlung.
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