Gebraucht OLYMPUS FR3200 #293830855 zu verkaufen

OLYMPUS FR3200 ist ein vollautomatisches Wafer-Handling-System zur Verarbeitung von Wafern in Halbleiteranwendungen. Es ist für die Verwendung in einer Vielzahl von Verfahren, wie thermische Verarbeitung, Photolithographie, Ätzen, Polieren und Verkapselung. FR3200 ist mit automatischem Waferaustausch, automatischer Einspritzung/Abgabe ausgestattet und kann Wafer bis 8 "Durchmesser handhaben. OLYMPUS FR3200 ist mit einem dreiachsigen Wafer-Roboter für präzise Positionierung und Bewegung ausgestattet. Die Waferaustauschstation wird verwendet, um den Handler mit dem Prozesswerkzeug zu verbinden. FR3200 können mit optionalen Auto-Inject/Dispense-Modulen interagieren, sodass der Bediener die Kontrolle über den Wafer-Lade- und Entladevorgang haben kann, ohne Wafer manuell zu laden oder zu entladen. Dies reduziert die manuelle Arbeit beim Be- oder Entladen von Wafern. Er ist mit bis zu 30 Wafern pro Stunde bei den 8 "-Modellen durchsatzstark. Der Wafer-Handler ist bedienerfreundlich gestaltet, mit einem großen farbigen Touchscreen-Display zum Navigieren von Optionen und Einstellungen. Das Display enthält einen Echtzeit-Prozessmonitor und eine komplette Reihe von Menüs, die benutzerfreundlich zu navigieren sind. Der Wafer-Handler überprüft auch automatisch die Prozessbedingungen und benachrichtigt den Bediener, wenn Fehler oder Unregelmäßigkeiten im Prozess auftreten. OLYMPUS FR3200 ist mit Antikollisionssensoren ausgestattet, um sowohl den Wafer-Handler als auch die Prozesswerkzeuge vor Kollisionen zu schützen. Der Wafer-Handler umfasst Vibrationen und Stoßdämpfer, um die Wafer während des Handhabungsprozesses zu schützen. FR3200 ist für den Einsatz in Reinräumen konzipiert und hat eine Klasse 1000 Reinraumbewertung. Es beinhaltet HEPA-Filtration, um sicherzustellen, dass die Wafer während des Prozesses kontaminationsfrei bleiben. Darüber hinaus ist OLYMPUS FR3200 mit einem eingebauten Feuchte- und Temperaturregelsystem ausgestattet, um optimale Bedingungen für den Prozess zu gewährleisten. FR3200 ist für einfache Wartung und Reparaturen ausgelegt. Es beinhaltet Schnellverriegelungsteile und Komponenten, die schnell ausgetauscht werden können, wodurch Wartungs- und Reparaturzeiten reduziert werden. Darüber hinaus ist es mit automatisierten vorbeugenden Wartungs- und Diagnosefunktionen ausgestattet und sorgt dafür, dass die Maschine jederzeit optimal läuft. Abschließend ist OLYMPUS FR3200 ein vollautomatisiertes Wafer-Handling-System, das für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterprozessen entwickelt wurde. Er ist mit bis zu 30 Wafern pro Stunde bei 8 "-Modellen durchsatzstark. Es ist mit einem dreiachsigen Wafer-Roboter, Auto-Inject/Dispense-Modul und Anti-Collision-Sensoren für präzise Positionierung und Sicherheit ausgestattet. Darüber hinaus ist FR3200 für einfache Wartung und Reparatur konzipiert und beinhaltet eingebaute Feuchtigkeit und Temperaturregelung für optimale Prozessbedingungen.