Gebraucht PRI / EQUIPE ESC 212B #9140501 zu verkaufen
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PRI/EQUIPE ESC 212B Wafer Handler ist ein Halbleiter-Bearbeitungswerkzeug speziell für empfindliche Operationen mit Wafern entwickelt. Die Maschine verwendet Präzisionsmotoren, Aktuatoren und andere Komponenten, um präzise und wiederholt Wafer zu handhaben. PRI ESC 212B ist ein sechsachsiger Wafer-Handler, der Waferdurchmesser von 2 „bis 8“ und Dicken von 150 μ m bis 5000 μ m handhaben kann. Die Maschine bewegt den Wafer in den Richtungen x, y, z und θ 1, θ 2 θ 3, um eine präzise Steuerung und Positionierung des Wafers zu ermöglichen. Außerdem unterstützt die Maschine eine breite Palette von Wafer-Tragewerkzeugen einschließlich Zange, Vakuumfutter und Heber. Um die Integrität des Wafers zu erhalten, sind Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle Schlüsselmerkmale von EQUIPE ESC 212B. Die Maschine verfügt über einen Temperaturbereich zwischen 1 ° C und 60 ° C und einen Feuchtigkeitsbereich zwischen 10% und 80% RH. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozessbedingungen und reduziert die Wahrscheinlichkeit einer möglichen Beschädigung des Wafers. Die 212B des WSA ist in der Lage, bis zu zwei Wafer gleichzeitig in einer geschlossenen, staubfreien Umgebung zu transportieren. Die Maschine ist mit zwei Waferkassetten ausgestattet, die entweder eine Bearbeitung mit einem Wafer oder eine Verarbeitung mit zwei Wafern ermöglichen. Die Wafer werden über eine Luftlagerscheibe zwischen Kassetten transportiert, wodurch die Wahrscheinlichkeit einer Partikelverschmutzung auf die Waferoberfläche reduziert wird. Die Maschine bietet auch Echtzeit-Überwachung der Wafergesundheit einschließlich Rauheit, kristallographische Orientierung und Partikelverunreinigung. Dies ermöglicht eine automatische Qualitätskontrolle während der Bewegung des Wafers und sorgt dafür, dass nur hochwertige Wafer verarbeitet werden. Schließlich ist PRI/EQUIPE ESC 212B Wafer-Handler mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche benutzerfreundlich gestaltet. Dies ermöglicht eine schnelle Einstellung von Maschinenparametern und erleichtert den Wechsel zwischen Prozessen. Die Maschine kommt auch mit umfangreichen Sicherheitsfunktionen wie Not-Aus-Tasten, Rückwärtsbewegungssensoren und Verriegelungen für den sicheren Betrieb. Zusammenfassend ist PRI ESC 212B Wafer Handler ein leistungsfähiges Werkzeug zur präzisen und präzisen Handhabung von Wafern. Die Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung, Wafer-Überwachung, duale Waferbearbeitung und benutzerfreundliche Schnittstelle machen es zu einem sehr vielseitigen Werkzeug für die Halbleiterverarbeitung.
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