Gebraucht RECIF IDLW6MR #9174912 zu verkaufen

RECIF IDLW6MR ist eine Wafer-Handler-Ausrüstung für die automatisierte Verarbeitung von 300mm-Wafern in Halbleiterherstellungsanlagen. Dieses leistungsstarke System verbessert die Prozesssteuerung und den Durchsatz unter Beibehaltung einer hohen Genauigkeit. IDLW6MR Wafer-Handler wurde entwickelt, um die Halbleiterprozessstandards der Industrie zu erfüllen und zu übertreffen. Es verfügt über einen modularen Aufbau mit sechs unabhängigen Karussells für die Handhabung von bis zu 300mm Wafern. Dieser Wafer-Handler hat eine 6-Zoll-Steigung bis zu 1,7 mm und eine 10-Zoll-Steigung bis zu 2,7 mm. Es enthält auch eine Palettenstation zum einfachen Be- und Entladen von Wafern und eine optionale Sockelstation für Wartungszwecke. Seine zentrale Steuereinheit bietet Programmiersteuerung und mehrere Optionen für erweiterte Funktionalität. Es unterstützt auch ein- und zweigleisige Robotik sowie einen einspurigen Förderer. RECIF IDLW6MR Wafer-Handler ist mit einem hochpräzisen Loader/Unloader (LU) und einer Gerätestufe für Wafer-Transfers ausgestattet. Die LU verfügt über eine vierachsige Robotereinheit, drei Vakuumarme und drei Wischer zum Be- und Entladen von Wafern in 5-Zoll oder 300mm Kassetten. Die Gerätestufe hingegen ist darauf ausgelegt, die Prozesskammerbeladungsgeschwindigkeit zu verbessern und den Durchsatz zu maximieren. Es bietet sensorbasiertes Be-/Entladen und einen automatisierten Transfermechanismus zwischen der Kammer und der LU. IDLW6MR Wafer-Handler ist mit erweiterten Wafer-Ausrichtungsfunktionen ausgestattet, einschließlich der Doppel-Arm-Ausrichtung oben und unten. Die Maschine integriert auch Sensoren für die In-situ-Überwachung und liefert Echtzeitdaten des Wafer- und Werkzeugstatus. Inzwischen ermöglicht die integrierte Touchscreen-Bedienoberfläche eine koordinierte Steuerung und Eingabe von Prozessparametern. RECIF IDLW6MR Wafer Handler ist für einfache Bedienung und Zuverlässigkeit konzipiert, mit verschiedenen Sicherheitsfunktionen wie Anti-Reverse-Schalter, temperaturgesteuerte Heizungen und eine 8-Punkt-elektrische Verriegelung Asset. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine schnelle und effiziente Anpassung an verschiedene Anwendungen. Es ist für optimale Leistung in den anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsumgebungen konzipiert.