Gebraucht RECIF MGI ALI6 #191000 zu verkaufen

RECIF MGI ALI6 Wafer Handler ist eine automatisierte Wafer Handhabung Ausrüstung für fortgeschrittene Materialforschung und Halbleiterproduktion entwickelt. Das System besteht aus einem leistungsstarken Wafer-Handling-Roboter und einem integrierten Wafer-Handling-Subsystem und bietet volle Flexibilität und Wiederholbarkeit in einer Vielzahl von Materialprozessen. Das ALI6 umfasst einen zweiarmigen Hochgeschwindigkeits-Gelenkroboter mit einer Gesamtreichweite von 650mm und vollem 360-Grad-Zugang. Es hat eine maximale Geschwindigkeit von 4700 mm/s2, Positioniergenauigkeit von 0,1 mm und ist in der Lage, Drehmoment zu steuern. Es ist in der Lage, bis zu vier Wafer gleichzeitig zu tragen, mit einem Leergewicht von 3,2 kg pro Wafer. Die hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit des Roboters positioniert den Wafer genau über der Prozesskammer für optimale Prozessergebnisse. Das Wafer-Handling-Subsystem umfasst Funktionen wie Wafer-Orientierungs-, Hebe- und Reinigungsfunktionen sowie eine softwaregesteuerte Temperaturregelung. Diese soll eine genaue und wiederholbare Temperaturregelung innerhalb von +/- 0,5 ° C des gewünschten Sollwertes gewährleisten. Die Maschine arbeitet mit Wafern im Durchmesser von 320mm, 200mm und 150mm, die in der Lage sind, die Waferbewegung zu schreiten und zu wiederholen. Das Wafer-Handling-Subsystem hat eine maximale Geschwindigkeit von 0,9 m/s und eine maximale Beschleunigung von 1G. MGI ALI6 ist ein innovatives, automatisiertes Wafer-Handling-Tool mit einer einzigartigen Kombination von Funktionen, die speziell entwickelt wurde, um eine zuverlässige und wiederholbare Waferbearbeitung zu gewährleisten. Es bietet eine Hochleistungsplattform, um eine breite Palette von Materialbearbeitungs- und Produktionsaufgaben zu unterstützen und jedes Mal reproduzierbare Ergebnisse zu liefern. Das integrierte Wafer Handling Subsystem wurde für kurze Zykluszeiten optimiert und gewährleistet eine schnelle und genaue Waferbearbeitung für einen verbesserten Durchsatz.