Gebraucht RENA WTS Distribution #9190348 zu verkaufen
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ID: 9190348
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Control cabinet (WxDxH): 1600 mm x 500 mm x 2200 mm
MTBF: > 500h
MTBA: > 24h
ED-Uptime: > 95%
MTTR: < 4h.
RENA WTS Distribution ist ein hochpräziser Wafer-Handler, der dünne und zerbrechliche Wafer mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit überträgt. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter einen multifunktionalen Roboterarm, eigenständige Transportausrüstung und Wafer-Pre-Aligner. Der Roboterarm erreicht mit einem fortschrittlichen dreiachsigen System die Lastpunkte im dreidimensionalen Raum. Die eigenständige Transporteinheit wurde speziell entwickelt, um maximale Sicherheit und Geschwindigkeit der Wafer-Handhabung zu gewährleisten, ohne auf Genauigkeit zu verzichten. Der integrierte Wafer-Pre-Aligner kann jeden Wafer vor der Verarbeitung unabhängig überprüfen, einstellen und ausrichten. WTS Distribution kann Wafer bis 300mm Durchmesser handhaben und ist in der Lage, Wafer mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf eine maximale Geschwindigkeit von 1200mm/s in Serienumgebungen zu übertragen. Der Roboterarm hat eine verstellbare Basisklammer, die es einfach macht, den Aktuatordruck einzustellen, der erforderlich ist, um die Wafer sauber aufzunehmen und zu bewegen. Seine integrierte Vision-Maschine ist in der Lage, die Position des Wafers zu erkennen und Defekte in einem Schritt zu erkennen, was die gesamte Produktionseffizienz erhöht. Neben der Handhabung bietet RENA WTS Distribution auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen für anspruchsvolles Wafer-Handling. Seine intuitive Benutzeroberfläche macht es einfach zu programmieren, mit verschiedenen Funktionen wie Programmspeicher, Menge der Rezepte gespeichert, mehrsprachige Unterstützung, Rezept-Laden, Benutzer-Ebene Passwörter, und mehr. Das Tool verfügt auch über einen ultrapräzisen Bewegungscontroller, der einen PID-Steueralgorithmus verwendet, um die vorprogrammierten Anweisungen genau zu befolgen. WTS Distribution ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafermaterialien, einschließlich Silizium, Keramik und Saphir unterzubringen. Die Anlage ist für den Betrieb in einer Vielzahl von Reinraumumgebungen konzipiert, mit einer drehbaren Waferkassette und einer schnellen Einstellbarkeit für verschiedene Höhen. Es verfügt über Überwachungsfunktionen wie Bewegungsalarm, Gesamtzählerkennung und Luftdruckerkennung und bietet einen sicheren und zuverlässigen Handhabungsprozess. Sein umfassendes Design hilft, die Ausfallzeiten zu reduzieren, Bedienungsfehler zu minimieren und die Genauigkeit der Wafer-Handhabung zu maximieren.
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