Gebraucht RORZE 1VRR8140 #9195319 zu verkaufen

RORZE 1VRR8140
Hersteller
RORZE
Modell
1VRR8140
ID: 9195319
Wafer transfer systems.
RORZE 1VRR8140 ist ein einspuriger, in sich geschlossener Wafer-Handler für Halbleiterproduktionsprozesse. Es wird von RORZE hergestellt und bietet präzise, hochgeschwindigkeitsgesteuerte Wafer-Handhabbarkeit. Dieses Produkt bietet eine Vielzahl von Funktionen, die es hocheffizient und zuverlässig in der Handhabung und Übertragung von Wafern für Schwerkraft- und Vakuumtransportsysteme machen. 1VRR8140 enthält Oblatendressierer ein 2-Achsen-Fasslager, einen einzelnen Oblatenübertragungsarm und einen motorisierten Kassette-zu-Kassette-Übertragungsmechanismus. Es ist für Wafer im Durchmesser von 200mm, 150mm und 125mm ausgelegt und bietet bidirektionale oder eindirektionale Bewegungsoptionen für Roboter. Der Portalantrieb basiert auf einem Linearmotor mit hoher Beschleunigungsgeschwindigkeit und einer maximalen Geschwindigkeit von 20 m/s. Der Waferübertragungsarm kann für jede Wafergröße modifiziert werden. Es ist mit einer Vakuumquelle zum Greifen von Wafern ausgestattet. RORZE 1VRR8140 Wafer Handler ist mit flexibler Oberflächenmontage-Technologie und einer internen Bewegungssteuerung entwickelt, um voll programmierbare Bewegungsfähigkeit zu bieten. Es ist in der Lage, einen Kassetten-Wafer bis zu einer maximalen Winkelausrichtung von ± 7 ° und einer Genauigkeit von .003mm genau zu positionieren. Der Wafer-Handler hat auch eine Präzisionsspindelgröße bis zu vierachsiger Drehung, die eine mehrfache Waferorientierung ermöglicht. Die Vorrichtung weist ferner einen doppelseitigen Waferübertragungsmechanismus auf, der die Übertragung von Wafern zwischen zwei Kassettenstufen oder einer Kassette und einer Plattenstufe ermöglicht. Die Leistung 1VRR8140 Wafer-Handlers wird durch sein intelligentes Steuerungssystem weiter verbessert. Dieses Gerät bietet Rückkopplungsschleifen für Bewegungs- und Einstellparameter sowie eine Online-Überwachung und Selbstabstimmung. Es unterstützt auch mehrere Kommunikationsprotokolle, einschließlich Ethernet, DH + und Peer-to-Peer-Kommunikation. Darüber hinaus ist der Wafer-Handler mit einer Vielzahl von Vision-Systemen kompatibel und bietet eine hochauflösende Bildaufnahme sowie die Möglichkeit, herausragende Komponenten zu identifizieren und zu vermeiden. Neben der anspruchsvollen Steuerungsmaschine ist der RORZE 1VRR8140 Wafer Handler mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Zu diesen Merkmalen gehören ein Verriegelungswerkzeug, das verhindert, dass der Wafer bei der Bewegung beschädigt wird, sowie ein Sicherheitssensor, der ein Eindringen in den Handhabungsbereich erkennt. Zusätzlich kann der Wafer-Handler das Vorhandensein von Fremdelementen im Waferbereich erkennen, was dazu beiträgt, dass keine Wafer verunreinigt werden. Insgesamt ist 1VRR8140 Wafer-Handler eine ausgezeichnete Wahl für jede Produktionsumgebung, die eine genaue und effiziente Wafer-Handhabung erfordert. Sein robustes Design, seine anspruchsvolle Steuerung und sein breites Spektrum an Sicherheitsmerkmalen machen ihn zu einer zuverlässigen und zuverlässigen Wahl.
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