Gebraucht RORZE 68RR8151-002-101 #9188460 zu verkaufen
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ID: 9188460
Wafer transfer station
(12) Axes of motion
(4) Transfer stations
Robot Module: RORZE RR701L1211-3A3-111-1
Dual-arm
No hands installed
Robot controller: CURR-1480-0
Linear axis: RORZE RT107-1201-002
IKO Model: TSL220-1200A/S20E558
Included:
KEYENCE BL-741c
Safety light curtain TAKEX SS20 wide sensor
RORZE RD-023MS Step drivers
RORZE RS-114A Sensor mates
RORZE RC-233 Generate masters
RORZE CURT-0661-2
RORZE RE120-002-001
NEMIC LAMBDA EWS600P Power supply
Power: 200VAC, 1Phase, 50/60Hz, 20A.
RORZE 68RR8151-002-101 Wafer Handler ist ein hoch fortgeschrittener Roboter Handler für den Einsatz in der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt. Die Vorrichtung umfasst einen integrierten Regler und zwei Präzisionsrobotik-Arme sowie einen Wafer-Lademechanismus und einen optischen Sensor zur Überwachung des Zustands des Wafer-Portionierungsprozesses. Die Roboterarme, die unabhängig und präzise Wafer übertragen können, können äußerst präzise Übertragungen mit minimalen Manipulationskräften durchführen. Sie haben auch 360-Grad-Bewegungsbereich, so dass sie alle Bereiche der Wafer-Handhabungsschale erreichen können. Der integrierte Controller läuft auf eigens entwickelter Software, die sowohl den manuellen als auch den automatisierten Betrieb ermöglicht und die Möglichkeit hat, programmiert zu werden, viele verschiedene vorprogrammierte Betriebsszenarien zu wiederholen. Es verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, externe Signaleingänge und einen Impulsausgang für die Synchronisation. Die Steuerung unterstützt außerdem einen analogen Signaleingang zur präzisen Steuerung der Drehzahl und Beschleunigung der Roboterarme. Für die Wafer-Portionierung verfügt die Vorrichtung über einen Wafer-Lademechanismus und einen optischen Sensor zur Erhöhung der Genauigkeit für den Wafer-Portionierungsprozess. Es ist mit einem Monitor ausgestattet, um die Ladeposition des Wafers deutlich anzuzeigen und einen korrekten Betrieb zu gewährleisten. Die integrierte Steuerung ermöglicht es dem Anwender, die Wafer-Portioniergeschwindigkeit bei Bedarf manuell einzustellen. Die Kraft zwischen den Roboterarmen und dem Wafer wird durch eine Kraftbegrenzungseinrichtung geregelt, die die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Übergabevorgangs verbessert. Die Roboterarme verfügen außerdem über einen Luftzylinder (für einen effektiveren Betrieb auf kleineren Wafern) und ein integriertes Vakuumbechersystem (für genauere Übertragungen größerer Wafer). 68RR8151-002-101 Wafer-Handler ist unglaublich zuverlässig und effizient, was ihn zu einem hochwirksamen Werkzeug für die Halbleiterproduktion macht. Gekoppelt mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, Präzisionsrobotikarmen und integriertem Controller ist RORZE 68RR8151-002-101 eine modernste Wafer-Handling-Lösung.
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