Gebraucht RORZE EFEM #9255471 zu verkaufen

RORZE EFEM ist eine Wafer-Handling-Plattform der nächsten Generation, die für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es kombiniert hochmoderne Komponenten, High-End-Automatisierung und vielseitige Steuerungsfunktionen, um ein hervorragendes Benutzererlebnis zu bieten. EFEM-System umfasst eine Be-/Entladestufe, eine Waferstufe und eine Transferstufe. Die Be-/Entladestufe hat zwei Motoren, die sich in der Nähe jedes Endes des Tisches befinden und einen effizienten und präzisen Transport der Wafer von den Lagerträgern ermöglichen. Es verfügt auch über Positionssensoren, die das Vorhandensein von Wafern erkennen, und ein Vision-System für verbesserte Leistung. Die Waferstufe besteht aus einem Präzisionsmotor mit einem Drehmagneten zur Steuerung der Antriebsspindel und einem Spannfutter zur Aufnahme der Wafer. Es ist in der Lage, Hochgeschwindigkeitsrotation und Vibration und kann bis zu 8 Wafer gleichzeitig aufnehmen. Die Transferstufe enthält zwei Klaueneinheiten, die in der Lage sind, Wafer schnell und genau von einer Stufe auf die andere zu übertragen. Darüber hinaus umfasst RORZE EFEM auch eine Reihe anspruchsvoller Steuerungsfunktionen. Es verfügt über eine intuitive und einfach zu bedienende Benutzeroberfläche mit einem grafischen Display, das Echtzeitinformationen zur Position und zum Status des Wafers bereitstellt. Es beinhaltet auch PID-Steuerung, so dass der Benutzer bestimmte Zielwerte für die Geschwindigkeit, den Druck und das Drehmoment der Waferstufen und Übertragungsstufen festlegen kann. Das System kann mit einer Vielzahl von Befehlen und Parametern für optimale Leistung programmiert werden und kann bis zu 30 Konfigurationen speichern. Schließlich ist EFEM für einen sicheren Betrieb unter Berücksichtigung der Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert. Es verfügt über mehrere Sicherheitssysteme, darunter einen Türschalter, ein Sicherheitsseil und Wafer-Erkennungssensoren. Es wurde auch entworfen, um Vibrationen zu minimieren und Schäden an den Wafern zu verhindern. RORZE EFEM bietet herausragende Leistung im Wafer-Handling und eine überlegene Automatisierung für eine effiziente Halbleiterverarbeitung. Es kombiniert hochmoderne Komponenten mit ausgefeilten Steuerungsfunktionen und bietet eine einfach zu bedienende und sichere Bedienung für ein hoch fortgeschrittenes Benutzererlebnis.