Gebraucht RORZE RR701L90-Z20-011 #9253414 zu verkaufen

RORZE RR701L90-Z20-011
ID: 9253414
Robot.
RORZE RR701L90-Z20-011 Wafer Handler ist ein Präzisionswerkzeug für die Handhabung und Übertragung von IC-Wafern zwischen verschiedenen Substraten und Substraten mit Wafer-Bonding-Werkzeugen. Es verfügt über ein einzigartiges, hochpräzises, zweigetriebenes Design, das eine optimale Genauigkeit und Kontrolle beim präzisen Bewegen von Wafern zwischen Substraten gewährleistet. Darüber hinaus verfügt RR701L90-Z20-011 auch über eine Joystick-Schnittstelle, die große Agilität bei der Auswahl der Shuttle-Geschwindigkeiten und anderer Verarbeitungsparameter bietet. RORZE RR701L90-Z20-011 hat zwei Hauptteile; Waferlenkung (WSU) und Substratmobilitätseinheit (SMU). Die WSU ist eine hochpräzise Kombination aus Motoren, Getrieben und anderen Komponenten, die eine reibungslose und genaue Waferbewegung ermöglichen. Die SMU besteht aus zwei Schrittmotoren, die die Flexibilität bieten, eine präzise Positionierung in Bezug auf die Substrate durchzuführen. RR701L90-Z20-011 können Wafer bis zu 450mm x 600 mm (18 „x 24“) handhaben. Es hat auch eine hochgenaue Gleitbahn für eine präzise Regelung und eine starke Antriebsauflösung von 3 Nanometern pro Schritt. Die Gleitbahn besteht aus einer hochpräzisen Kugelschraube und einer Z-Achsen-Skala, die eine präzise Steuerung der Substrathöhe ermöglicht, um die höchste Wiederholbarkeit der Antriebs-Z-Achse zu gewährleisten. Der Wafer-Handler weist zwei unabhängige Drehachsen auf; die AZ-Achse und die B-Achse. Die AZ-Achse bietet die höchste Genauigkeitsleistung bei der Übertragung von Wafern zwischen Substraten in derselben Ebene, während die B-Achse es ermöglicht, dass die Wafer-Programmierfreiheit von der Substratzuführrichtung unabhängig ist, indem der Winkel von Shuttle und Z-Achse frei eingestellt wird. RORZE RR701L90-Z20-011 verfügt über mehrere automatische Funktionen wie eine Auto-Stop-Option, eine Wiederholungslogik und ein Überstromschutzsystem. Das Auto-Stop-Feature stoppt das Shuttle, wenn Fehler auftreten, während die Wiederholungslogik die Fehler automatisch korrigiert und die Verarbeitung fortsetzt. Das Überstromschutzsystem verhindert Beschädigungen der Maschine und der Substrate unter Beibehaltung hoher Qualität und Zuverlässigkeit ohne manuellen Eingriff. RR701L90-Z20-011 bietet auch ein integriertes Grafikunterstützungsprogramm für einfache Programmierung und Bewegungssteuerung. Dieses Programm bietet umfangreiche Grafik- und Programmierfunktionen wie Zykluszeitanzeige, Parameterüberwachung, Grenzschalterüberwachung und vieles mehr. Insgesamt ist RORZE RR701L90-Z20-011 ein äußerst vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Handler, der eine präzise Steuerung und eine hervorragende Verarbeitungsleistung in allen Arten von Wafer-Handling und Bonding bietet. Die Kombination aus leistungsstarken Funktionen und fortschrittlicher Automatisierung sorgt für hervorragende Qualität und Genauigkeit für alle Ihre Wafer-Handhabungsanforderungen.
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