Gebraucht RORZE RR717L1521-3A6-231-2 #9206455 zu verkaufen

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ID: 9206455
Weinlese: 2004
Robot 2004 vintage.
RORZE RR717L1521-3A6-231-2 ist ein halbautomatischer Wafer-Handler, der sich auf den Transport von bis zu 600mm 300mm Wafern spezialisiert hat. Es ist für den Einsatz in Reinräumen und anderen hochreinen Luftumgebungen in der Halbleiterindustrie konzipiert. Im Kern enthält RR717L1521-3A6-231-2 eine integrierte mechanische Ausrüstung, die für die Handhabung und den Transport von Wafern mit präziser Bewegung, Orientierung und Geschwindigkeit zuständig ist, und eine automatisierte elektrische Steuerung für Betriebsfunktionen. Die mechanische Einheit besteht aus zwei Linearhebern, einem vertikalen Heber, einem horizontalen Heber, zwei XYZ-Achsstufen und zwei Endeffektorarmen. Diese Baugruppe ist mit einem Edelstahlrahmen umhüllt und bietet eine robuste und zuverlässige Transportvorrichtung. Die Linearheber sind für die Übertragung von Wafern bis zu einer Höhe von 600mm verantwortlich, während der vertikale Heber auf die unteren Höhen einen Endeffektor durchqueren muss. Sie werden von drei Schrittmotoren angetrieben. Die XYZ-Achsstufen, angetrieben von Rotationsmotoren, bieten die genaue Bewegung und Orientierung des Endeffektors, sowohl beim Transport als auch beim Kommissionieren/Platzieren von Wafern. Mit den für einzelne Funktionen programmierten Endeffektorarmen können bis zu zwei Wafer gleichzeitig gepflückt werden. Die elektrische Maschine von RORZE RR717L1521-3A6-231-2 besteht aus einem X-Y-Tisch, einem PC-basierten Controller und einem EMPROM. Die X-Y Tablein Kombination mit dem PC-basierten Controller automatisiert die Datenübertragung und das Wafer-Handling mit einem Open-Source-Programmierwerkzeug. Der PC-basierte Controller steuert und überwacht alle Vorgänge, erfasst Daten und Statussignale im Zusammenhang mit der Vermögensleistung. Es ist auch verantwortlich für die automatische Fehlerkorrektur und Flussregelung. Das EMPROM unterstützt bei der Feinabstimmung von Parametern im Zusammenhang mit dem Bewegungsprofil. Der modulare Aufbau von RR717L1521-3A6-231-2 ermöglicht eine einfache Installation und Service. Das Modell wird sowohl durch eine Verriegelung als auch durch eine Sicherheitsaussperrung unterstützt, die Personen und Geräte vor Missbrauch schützt. Es ist CE-konform, enthält FOUP-Erkennung und kann über Schnittstellen wie ESS, SPC und GEM kommunizieren. Mit einem Gewicht von 400kg ist RORZE RR717L1521-3A6-231-2 ein bewährter und zuverlässiger Wafer-Handler, der die Produktivität während der Halbleiterproduktion steigern soll. Es bietet automatische, stabile und präzise Automatisierung von bis zu 600mm 300mm Wafern in Reinräumen über große Flächen. Das vielseitige System ist dank seiner integrierten Steuereinheit eine ideale Lösung für viele Anwendungen sowohl in der Halbleiterherstellung als auch in der Hightech-Industrie.
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