Gebraucht RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595 zu verkaufen

RUDOLPH/AUGUST SWS (Substrate Wafer Equipment), hergestellt von AUGUST Technologies, ist ein Wafer-Handler für manuelle sowie automatisierte Prozesse. Es besteht aus zwei automatischen Schlitzöffnungsrobotern, einem doppelbreiten Waferlader, einem Transferroboter und einer mit einer Kammer ausgestatteten Entladestation. Der doppelbreite Waferlader von AUGUST SWS ist für großformatige Wafer mit Breiten von bis zu zwei Zoll ausgelegt. Der Lader kann sowohl 4, 5 oder 6-Zoll-Wafer handhaben und ist mit einem modularen Indexiermechanismus zur zuverlässigen Zuführung versehen. Der im System verwendete Transferroboter besteht aus zwei linear belasteten Armen, die eine kontinuierliche Einspeisung der Wafer in SPECTRO oder jede andere Bearbeitungsmaschine erleichtern. Der Transferroboter ist mit einer Sicherheitsvorrichtung ausgestattet, die Waferschäden bei Transfers verhindert. Die beiden automatischen Schlitzöffnungsroboter eignen sich zum Laden von Schlitzen gleichmäßiger Größe und Qualität auf den Wafern. Sie wurden entwickelt, um Schlitze verschiedener Breiten und Schlitze von Tiefen bis zu 0,05 Zoll zu erfassen, unter Beibehaltung der Waferintegrität. Jeder Roboter ist mit einem variablen Abtriebsantrieb und einer Sicherheitsverriegelung versehen, die die Dauer des Waferentriegelungsvorgangs begrenzt. Die Einheit ist ferner mit einer Kammer versehen, die zum Be- und Entladen von Wafern zwischen den Bearbeitungsmaschinen geeignet ist. Diese Kammer weist einstellbare Parameter auf und ist wirksam zur Vermeidung von Verunreinigungen. Abschließend ist RUDOLPH SWS ein Wafer-Handler, der sowohl für manuelle als auch automatisierte Prozesse entwickelt wurde. Es verfügt über einen Waferlader mit doppelter Breite, zwei automatische Schlitzöffnungsroboter, einen Transferroboter sowie eine zum Be- und Entladen von Wafern zwischen den Bearbeitungsmaschinen geeignete Kammer. Diese Komponenten verbinden sich zu einer zuverlässigen und effizienten Wafer-Handhabungsmaschine, die Gleichmäßigkeit mit Schlitzen von höchster Qualität bietet.