Gebraucht SANKYO SR8240-0002CCR #9296842 zu verkaufen

SANKYO SR8240-0002CCR ist eine fortschrittliche Wafer-Handler-Maschine, die für hochpräzise Prozess- und Handhabungsanforderungen konzipiert ist. Es ist mit einem zweiachsigen X-Y-Z-Bewegungsgerät, einem Lasttransportsystem und einem Vakuumfutter zur Handhabung von Wafern bis 200 mm ausgestattet. Die zweiachsige X-Y-Z-Bewegungseinheit besteht aus zwei linearen Achsen X und Y, die sich kontinuierlich mit einer Auflösung von ± 0,01 mm bewegen können. Die Bewegungsmaschine umfasst auch die K-Achse, die 180 ° drehbar ist, um Wafer besser zu positionieren und zu halten. Das Vakuumfutter verfügt über einen eingebetteten bürstenlosen Gleichstrommotor, der die Präzision der Wafer-Ausspannkraft steuert, und das Spannfutter kann Wafer mit einer großen Kapazität bis zu 200mm mit Kraftrückkopplung halten und freigeben. SR8240-0002CCR verfügt auch über ein Lasttransportwerkzeug, das aus einem mechanischen Shuttle-Arm besteht, der an der linearen X-Y-Bewegungsstufe montiert ist, und mehreren Komponenten zum Transport und zur Unterstützung der Wafer, wenn sie sich zwischen den Positionen bewegen. Das Shuttle-Asset kann zum Ein- und Ausspeisen von Wafern verwendet werden, um eine präzise Handhabung und Platzierung der Wafer zu gewährleisten. Diese Maschine wurde entwickelt, um Sicherheit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Prozess- und Handhabungsanforderungen zu gewährleisten. Zur Gewährleistung der Sicherheit ist die Maschine mit einem Sicherheitsverriegelungsmodell ausgestattet, das ausgelöst wird, wenn sich das Wafer-Handling nicht in der richtigen Betriebsstellung befindet. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem Anti-Affinity-System (AAS) ausgestattet, um unerwartete Bewegungen der Bedienungskomponenten während des Maschinenaufbaus, des Betriebs und der Wartung zu überwachen und zu verhindern. Insgesamt ist SANKYO SR8240-0002CCR ein vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Handler, der präzise Prozess- und Handhabungsfunktionen bietet. Seine zweiachsige X-Y-Z-Bewegungseinheit und Lasttransportmaschine ermöglichen es ihm, große Wafer mit Geschwindigkeit und Genauigkeit zu handhaben, während seine Sicherheits- und Überwachungssysteme einen sicheren und zuverlässigen Betrieb gewährleisten.