Gebraucht SHIBUYA EH 182 #293585948 zu verkaufen

SHIBUYA EH 182 ist ein leistungsstarker Wafer-Handler für das automatisierte Be- und Entladen von Halbleiterwafern. Es wird hauptsächlich in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt, um Waferkassetten oder vordere offene Kassetten (FOC) in Prozessbereiche wie Ätzer, Diffusionsöfen und Fotolithographiekammern zu übertragen. EH 182 verfügt über eine FOC-Fähigkeit von 8-Zoll, 200 mm und 300 mm Wafern und kann bis zu 8 Kassetten gleichzeitig handhaben. SHIBUYA EH 182 besteht aus mehreren Hauptkomponenten, darunter einem Roboterarm, einem Satz Hubmotoren und einem Satz von Lagerrädern. Der Roboterarm wurde entwickelt, um die Kassetten von einem Puffer auf den Roboter zu übertragen, und die linken Motoren sind zum Anheben des Roboterarms ausgelegt. Die Lagerräder werden für reibungslose robotische Bewegungen bei der Handhabung der Kassetten eingesetzt. EH 182 ist mit drei verschiedenen Transfertypen konfiguriert: clamshell, front-open und round shuttle. Die Klammerübertragung ermöglicht es SHIBUYA EH 182, den Wafer und seine Substrate präzise in den internen Bearbeitungskammern zu platzieren, während die Front-Open-Übertragung Kassetten zwischen den Kammern hin und her nimmt. Der Round-Shuttle-Transfer dient zum Transport von Kassetten zwischen Werkzeugen und ermöglicht mehrere Streckenführungen und eine gleichzeitige Bewegung von mehr als einer Kassette. Zusätzlich zu den Übertragungsfunktionen bietet EH 182 auch erweiterte Sichtfunktionen, um Fehler während der Wafer-Abhol- und Platzierungsschritte zu überprüfen. Diese Funktion ermöglicht einen weiteren Schutz vor möglichen Schäden. SHIBUYA EH 182 ist mit benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet, um den Automatisierungsprozess zu erleichtern, wie einfaches Setup und manuelle Befehle. Die integrierte Intelligenz ermöglicht es EH 182, auf eine Aufgabe mit minimaler Benutzeroberfläche angemessen zu reagieren. SHIBUYA EH 182 ist ein zuverlässiger und leistungsstarker Wafer-Handler, der eine reibungslose, genaue und wiederholbare Roboterbewegung bietet. Seine erweiterten Funktionen und Anpassungsfunktionen machen es ideal für automatisierte und manuelle Umgebungen. In Kombination mit seinem kostengünstigen Design ist EH 182 die ideale Lösung für Halbleiterhandhabungsanforderungen.