Gebraucht SHIBUYA EH 520 #9253524 zu verkaufen

SHIBUYA EH 520 ist ein vollautomatischer Wafer-Handler, der in Produktionslinien für Halbleiter- und Flachbauelemente verwendet wird. Es wurde entwickelt, um Wafer verschiedener Durchmesser, Dicken und Formkonfigurationen durch thermische Verarbeitung, Würfeln und Reinigung schnell, effizient und präzise zu handhaben. Das Gerät verfügt über einen ergonomisch gestalteten Roboterarm zur präzisen Handhabung von Wafern und ein Laser-Detektionssystem zur präzisen Positionierung. EH 520 verwendet ein proprietäres Computer-Vision-Navigationssystem, um Wafer über den gesamten Substratverarbeitungsbereich zu lokalisieren und zu übertragen. Das Gerät verwendet eine hochpräzise X-Y-Linearmotorstufe, um die Oberfläche des Wafers mit einer Laserdiode sicher zu halten und genau abzutasten. Die Abtastauflösung ist entscheidend, um eine präzise Bewegung des Wafers in X- und Y-Richtung zu ermöglichen. SHIBUYA EH 520 ist auch mit einem Spannmechanismus ausgestattet, um den Wafer ohne Substratverformung nach der Laserpositionierung fest zu halten. EH 520 verfügt über ein integriertes programmierbares Handlingteil. Dieser Teil wird für den parallelen Transport einer großen Anzahl von Wafern auf einmal verwendet, was einen höheren Durchsatz ermöglicht. Das Gerät führt auch einen integrierten „Palettierungsalgorithmus“ aus, der die Zeit für das Verschieben von Wafern von einem Prozessbereich in einen anderen reduziert. SHIBUYA EH 520 hat ein niedriges Profil und bietet eine Reihe von Flexibilität für eine Vielzahl von Anwendungsbereichen. Das Gerät hat einen modularen Aufbau für einfache Wartung und Skalierbarkeit. Es bietet eine breite Palette von Optionen für Transport, Sortierung und Reinigung Wafer, und kann eine Vielzahl von thermischen und mechanischen Bearbeitungsstufen, wie Oxidation, Beschichtung, Ätzen und so weiter. EH 520 bietet eine hervorragende Präzision und eine beeindruckende Prozessrate von bis zu 600 Wafern pro Stunde. Es arbeitet mit einem sehr niedrigen Geräuschpegel und wurde entwickelt, um die höchsten Zuverlässigkeitsstandards zu erfüllen, nachdem es strengen Qualitäts- und Leistungsprüfungen unterzogen wurde. Das Gerät ermöglicht eine einfache Integration in andere Geräte in der Produktionslinie und ist für viele Jahre ausgelegt, wodurch Wartungskosten minimiert werden und die Produktionslinie mit maximaler Effizienz betrieben werden kann.