Gebraucht STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544 zu verkaufen

Der STAUBLE STAUYSI RX90 LCRfsi ist ein Wafer-Handler, der in automatisierten Transport-, Inspektions- und Messtechnik-Systemen eingesetzt wird. Es ist entworfen, um Wafer und andere Substrate zu übertragen, was auch immer die Form oder das Material, schnell und genau mit minimaler Verzerrung. Sein einzigartiges LCR (Linear Cartesian Robotics) -Design sorgt für glatte, schnelle Bewegung und beispiellose Genauigkeit. Es verwendet einen proprietären Smooth Spindle Drive (SSD), um lineare Bewegungen entlang drei Achsen zu erzeugen: X, Y und Z. Dies ermöglicht es dem Roboter, sich bis zu Geschwindigkeiten von 5.000 mm/s zu bewegen, mit einer Auflösung, die 1 Mikron in allen Achsen überschreitet. Das RX90 ist außerdem mit einem Force Reactive Suspension (FRS) -System ausgestattet, das unabhängig von der Größe oder Form des Substrats automatisch eine kontrollierte Greifkraft aufrechterhält und einen sicheren Halt am Substrat während des Transports gewährleistet. Dadurch wird die Gefahr reduziert, dass das Substrat im Griff des Roboters zerkratzt, aufgelöst oder anderweitig beschädigt wird. Es verfügt auch über ein integriertes Sichtsystem, das in der Lage ist, Substrate mit einer Auflösung von bis zu 1,5 μ m zu inspizieren und zu messen. Das hochpräzise LCR-Design des RX90 ermöglicht es auch, insgesamt 16 Freiheitsgrade in Vorwärts- und Rückwärtsbewegungen zu erhalten. Dadurch wird der in anderen Robotersystemen übliche Taumelwinkel minimiert und sichergestellt, dass der Wafer immer zu einem bestimmten Zeitpunkt genau positioniert wird. Darüber hinaus sorgt seine Konstruktion für eine gleichmäßige Substratunterstützung entlang des gesamten Übertragungsweges und reduziert die Risiken von Vibrationen und Kollisionen. Insgesamt ist der STAUBLE RX90 LCRfsi ein innovativer und vielseitiger Wafer-Handler, der für die High-End-Prozesse der Halbleiterindustrie konzipiert wurde. sein fortschrittliches LCR-Design, seine intuitive kraftreaktive Federung und sein integriertes Sichtsystem machen es zu einer idealen Wahl für jedes Fertigungslabor. Es ist in der Lage, Substrate mit maximaler Effizienz und Genauigkeit bei Geschwindigkeiten von bis zu 5.000 mm/s mit einer Auflösung von bis zu 1 μ m zu übertragen und zu inspizieren.