Gebraucht SWECO ITAL-500 #9392922 zu verkaufen

SWECO ITAL-500 Wafer Handler ist ein Robotergerät zur präzisen Steuerung des Inline-Flusses von Wafern innerhalb einer Halbleiterverarbeitungsumgebung. Es ist für Anwendungen konzipiert, die mehrere Wafer-Handhabungssequenzen erfordern, einschließlich Epiwafer-Herstellung, Wafer-Prober und andere verwandte Systeme. ITAL-500 besteht aus einem elektromechanischen Waferlader, einem Wafertransportmechanismus, einem Spindelantrieb und einer optionalen Schlitzarmeinheit. Der elektromechanische Waferlader ist für die Beladung von bis zu 100 Wafern ausgelegt. Zur genauen Toleranzmessung ist im Lader eine Vernier-Waage eingebaut und eine näher an der Roboterdüse angeordnete Platte ermöglicht die berührungslose Aufnahme der Wafer vom Lader. Dies gewährleistet eine wiederholbare und genaue Beladung der Wafer. Der Wafer-Transportmechanismus sorgt für eine präzise und wiederholbare Bewegung entlang einer Innenbahn, die mehrere Aufnahme- und Abgabevorgänge für Wafer ermöglicht. Der Mechanismus ist so konzipiert, dass er +/- 1mm Bewegung in der x- und y-Achse und +/- 0,5 mm Bewegung in der z-Achse unterstützt. Der integrierte Spindelantrieb ermöglicht eine einstellbare Drehzahl- und Richtungsregelung, um eine präzise Handhabung von Wafern während des Transports zu ermöglichen. Die Geschwindigkeitsregelung ist von 0 bis 6.000 Umdrehungen pro Minute einstellbar, während die Richtung sowohl im Uhrzeigersinn als auch im Gegenuhrzeigersinn unabhängig eingestellt werden kann. Die optionale Schlitzarmeinheit ist für die exakte Ausrichtung von Wafern innerhalb des Systems ausgelegt. Ein Wafer-Führungswirbel ist vorgesehen, um ein Absplittern von Wafern zu verhindern, während feine Zwei-Achsen-Bewegungen einstellbar sind, um die Ausrichtung des Wafers beizubehalten. SWECO ITAL-500 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Die mitgelieferte Zweihandsicherheitsschaltung ermöglicht den Start des Handhabungsvorgangs ohne Angst vor Fehlbewegungen. Die Bewegungsgrenzen zwischen jedem Aufnahme- und Abgabepunkt werden durch einen Hausschalter überwacht, um den Mechanismus vor äußeren Störungen zu schützen. Zusätzlich ist ein 300-Mikron-Näherungssensor vorgesehen, der beim Be- und Entladen etwaige Hindernisse des Waferladers detektiert. Um die Betriebseffizienz von ITAL-500 zu maximieren, werden ein Touchscreen-Controller und ein Lehranhänger bereitgestellt. Der Controller ist für die Dateneingabe der verschiedenen für die Wafer-Handhabung benötigten Parameter ausgelegt, während der Lehranhänger die Programmierung mehrerer Wafer-Handlingsequenzen ermöglicht. Darüber hinaus kann der Roboter über Ethernet problemlos in bestehende Geräte integriert werden und ist damit eine ideale Lösung für Halbleiterfertigungsprojekte. Insgesamt ist SWECO ITAL-500 Wafer-Handler eine ideale Lösung für Halbleiterverarbeitungsanwendungen, die mehrere Wafer-Handlingsequenzen erfordern. Das Leistungsspektrum und die Sicherheitsmaßnahmen ermöglichen eine präzise und wiederholbare Handhabung von Wafern, während die intuitive Steuerung und der Lehranhänger eine einfache Programmierung und Bedienung ermöglichen.