Gebraucht TAKATORI TRO-25C #9358488 zu verkaufen

Hersteller
TAKATORI
Modell
TRO-25C
ID: 9358488
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Wafer transfer unit, 6" 1998 vintage.
TAKATORI TRO-25C ist ein leistungsstarker Wafer-Handler für die Massenproduktion in der Halbleiter- und Elektronikfertigung. Es bietet eine schnelle und präzise Bedienung, die eine effiziente Herstellung von Geräten ermöglicht. TRO-25C besteht aus zwei Armen; einen äußeren Arm zur Handhabung des Wafers und einen inneren Arm, der mit einer Saugkraft und einer Halterfunktion ausgestattet ist. Der äußere Arm hat eine schnelle lineare Bewegung und kann den Wafer genau auf den inneren Arm positionieren. Der innere Arm verfügt über eine Vakuumausrüstung, um den Wafer mit geringer Restkraft zu halten, zusammen mit einem Halter und einer Abdeckung, um einen gleichmäßigen Kantendruck zu gewährleisten und einen Waferbruch zu verhindern. Die Waferoberfläche wird durch ein bis zum Hochvakuum am Innenarm gefülltes Luftpolster geschützt. Mit Hilfe eines CNC-Systems (Computer Numerical Control) kann TAKATORI TRO-25C eine überaus hohe Genauigkeit erreichen. Dies liegt an der hohen Motordrehzahl und -genauigkeit der Aktuatoren sowie an der Umschaltbarkeit zwischen Fahrmodi für jeden Arm, einschließlich eines hochpräzisen Positioniermodus, eines Zentriermodus, eines Schnellfahrmodus und eines konventionellen Drehzahlmodus. TRO-25C ist sowohl für Einzelwafer- als auch für Multi-Wafer-Prozesse konzipiert, mit der Fähigkeit, Wafergrößen von bis zu 8 "zu handhaben. Dies wird durch die feine Winkel- und Translationsbewegung der Arme erreicht. Der äußere Arm ist mit einem speziellen Mechanismus ausgestattet, der die Wafer sanft erfasst und bewegt, während gleichmäßiger Luftdruck um den Wafer gehalten wird. TAKATORI TRO-25C ist kompatibel mit den meisten Wafergrößen im Bereich von 100mm-200mm Waferdurchmesser. Dies ermöglicht Flexibilität und hohe Produktivität. Darüber hinaus ist TRO-25C mit einer automatischen Kalibrierung und einer Kontaminationsmanagementeinheit sowie einer visuellen Inspektionsmaschine zur Überwachung und Erkennung von Auffälligkeiten im Wafer-Handhabungsprozess ausgestattet. Insgesamt ist TAKATORI TRO-25C ein professioneller Wafer-Handler, der aus qualitativ hochwertigen Komponenten aufgebaut ist, die überlegene Genauigkeit, Hochgeschwindigkeitsbetrieb und effizientes Wafer-Handling bieten. Mit seinen ausgeklügelten Eigenschaften eignet sich dieser Wafer-Handler gut für Massenproduktionsaufgaben in der Elektronik und Halbleiterfertigung.
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