Gebraucht ULVAC COVOT-6-X5A #293642937 zu verkaufen

ULVAC COVOT-6-X5A
Hersteller
ULVAC
Modell
COVOT-6-X5A
ID: 293642937
Robot.
ULVAC COVOT-6-X5A ist ein Wafer-Handler zum Testen und Laden von Halbleiterscheiben. Es ist eine kompakte Ausrüstung, die eine vakuumbasierte Plattform und ein Paar Roboterarme verwendet, um die Wafer von einer Station zur anderen zu bewegen. Das System verfügt über einen Temperaturregler, der Temperaturstabilität für Prüfvorgänge mit sehr geringen Materialtoleranzen gewährleistet. COVOT-6-X5A Wafer-Handler verfügt an jeder Station über eine 6-Zoll-Waferkapazität mit maximal 2 Werkzeugen. Um eine präzise Übertragung und Handhabung der Wafer zu gewährleisten, verwendet das Gerät eine vakuumbasierte Handhabungsmaschine, die einen Spannfutter-Vakuum-Betrieb unterstützt. Es verfügt auch über eine effiziente Vakuumschnittstelle, die eine virtuelle Ebene für die korrekte Höhenorientierung verwendet. Die Roboterarmbewegung wird von einer PC-basierten Steuerung mit Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) gesteuert. Es bietet auch eine Rezept-Programm-Bearbeitungssoftware, mit der Benutzer Test- und Betriebsrezepte für jeden Wafer optimieren können. Ein integriertes Software-Tool bietet vorausschauende Wartungsfunktionen und überwacht den Asset-Status auf Datenkontrolle und Rückverfolgbarkeit. Der Temperaturregler des Modells verwendet eine Peltier-Zelle, um Temperaturen bis zu 100 ° C stabil zu halten. Es unterstützt eine integrierte Temperatur-Sollwertregelung für jedes einzelne Werkzeug. Der integrierte Temperaturregler verfügt außerdem über eine adaptive PID-Steuerung zur Aufrechterhaltung der Prozessgenauigkeit. ULVAC COVOT-6-X5A Wafer Handler hat ein ergonomisches Design mit einer offenen Architektur und großen Zugangsfenstern. Intuitive Schalter und visuelle Indikatoren sind in der Ausrüstung enthalten sowie Zugang zu einem On-Board-Menü zur Fehlerbehebung. Es verfügt auch über digitale E/A-Module zur Überwachung von Overdrive und Evakuierungsphasen. COVOT-6-X5A Wafer-Handler ist eine ideale Wahl für Mehrfachbeladungs-, Test- und Messvorgänge in Branchen wie Halbleiter, mikroelektromechanische Systeme (MEMS) und optoelektronische Produktionsprozesse. Die Kombination aus effizienten computergesteuerten Roboterarmen, zuverlässiger Temperaturregelung und einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen macht es zu einem sehr vielseitigen und zuverlässigen System, das den Anforderungen moderner Produktionsprozesse gerecht wird.
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