Gebraucht ULVAC COVOT-6-X5A #293664110 zu verkaufen

ULVAC COVOT-6-X5A ist ein Wafer-Handler, der sowohl für Silizium als auch für Nicht-Silizium-Substrate effizient und zuverlässig Wafer-Transportdienste erbringt. Dieser Wafer-Handler verfügt über eine modulare und flexible Architektur, die einen überlegenen Stand-alone-Betrieb oder die Integration in bestehende Fabrik-Automatisierungssysteme ermöglicht. COVOT-6-X5A ist in der Lage, einzelne Wafer bis 200 mm Größe zu handhaben und hat einen Betriebstemperaturbereich von 15 ° C ~ 40 ° C. Der Wafer-Handler verfügt über eine integrierte Reinraumumsteuerung zu High A/C ROOM (ISO Klasse 4) mit relativer Feuchtigkeitssteuerung (20 ~ 70% RH) und Partikelnummern bis 0,03 μ m (mit ULVAC-ICP3 Filterausrüstung). Das Sequenzprogramm ist PC-basiert mit einfacher Programmrevision über EMME/3 Software. Dies gewährleistet eine einfache und intuitive Produktkonfiguration, Programmerstellung, Wartung und Datenprotokollierung. ULVAC COVOT-6-X5A handler verfügt über ein eingebautes Kühlsystem mit vier unabhängigen Kühlzonen zur Substratkühlung. Es beinhaltet automatischen Kassettenaustausch und Kassettenentladung zu FOUP (oder anderen GAPs) mit einem optionalen zweiarmigen Handler für steifere Substrate. Die Wafer-Transfereinheit-Konfigurationen umfassen zweiarmiges Greifen für bis zu 20 Wafer zusammen und es kann für zwei Transportachsen und den mehrarmigen Steuerroboter mit der Mehrfachdrehschieber-Bewegungsmaschine zum Transport und zur Manipulation des Wafers programmiert werden. Das Spannwerkzeug verfügt über einen hochsteifen pneumatischen Ejektor und Luftblasrückdruckbeaufschlagung für zuverlässige und sichere Substrathandhabung. Der Verdrahtungsmonitor von COVOT-6-X5A enthält mehrere integrierte Sicherheitsvorrichtungen, um Fehler durch Verdrahtungstrennung zu vermeiden. Dieser Wafer-Handler ist mit PFA-überdachten Riemen ausgestattet, umfasst einen Mikroschrittmotor mit dediziertem Encoder zur präzisen Wafer-Positionierung und kann in ein bestehendes Kundenautomatisierungs-Asset integriert oder als Stand-alone-Modell betrieben werden. Um Betriebssicherheit zu gewährleisten, verwendet ULVAC COVOT-6-X5A Wafer Handler Diagnosefunktionen für die Gerätealarmanalyse und Wartungsprotokollaufzeichnung, zusätzlich zur Betriebsprüfprüfung. Es wurde auch entwickelt, um Wartungsarbeiten durch das Röntgen-CT-System zu reduzieren. Dieser Wafer-Handler ist CE-konform und enthält eine deckenmontierte Konsole mit Tastaturen und ein Paar großer Monitore.