Gebraucht ULVAC COVOT-6 #293664113 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
COVOT-6
ID: 293664113
Robot.
ULVAC COVOT-6 ist ein 6-Zoll-Wafer-Handler mit extrem geringer Verschmutzung, der zuverlässige Wafer-Handhabungsfunktionen und eine extrem niedrige Kontaminationsumgebung bietet. Dieser Wafer-Handler ist so konzipiert, dass er den hohen Anforderungen von Halbleiterproduktionsanwendungen gerecht wird. COVOT-6 ist mit einem verlängerten Spannfutter ausgestattet, das eine erhöhte Vakuumhaltekraft und eine verbesserte Planarität bietet. Sein reibungsloser Betrieb sorgt für leistungsstarke Waferübergabe und Lieferung. Die kompakte Bauweise des Handlers bietet eine platzsparende Lösung und seine flexible Ladestation umfasst Adapter für 6 „- und 8“ -Wafer sowie einen Port für Ausrichtungsanschlüsse. Der Wafer-Handler enthält auch mehrere Funktionen, die eine hohe Verschmutzungssteuerung bieten. Ein spezielles Dreifachdichtungssystem hilft, Verschmutzungen innerhalb und außerhalb der Prozesskammer zu reduzieren, indem der Eintritt von Partikeln in die Kammer begrenzt wird. Die Verwendung von Edelstahlbauteilen trägt zu einer weiteren Reduzierung potenzieller Verschmutzungsquellen bei. Die Abmessungen des Handlers und der Luftverschmutzungsunterdrückungsschicht ermöglichen eine schnellere und einfachere Übertragung von Wafern in einer Vorrichtung. ULVAC COVOT-6 Wafer Handler verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Alarmanlage zum Warnen des Benutzers über Temperatur- oder Vakuumwechsel, Luftdämpfer am Einlass und Auslass und Drucksperre auf der Abgasseite. Zusammenfassend ist COVOT-6 Wafer Handler eine extrem schmutzarme, platzsparende Lösung, die den hohen Anforderungen von Halbleiterproduktionsanwendungen gerecht wird. Seine Eigenschaften bieten eine zuverlässige und sichere Handhabung von Wafern, eine extrem niedrige Kontaminationsumgebung und mehrere Sicherheitsmerkmale. Die kompakte Bauweise und das verlängerte Spannfutter bieten einen reibungslosen Betrieb, während das Dreifachdichtungssystem und die Edelstahlkomponenten das Risiko einer Kontamination mindern.
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