Gebraucht ULVAC COVOT-6 #293664115 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
COVOT-6
ID: 293664115
Robot.
ULVAC COVOT-6 ist ein voll ausgestatteter Wafer-Handler, der hohe Präzision und Genauigkeit im Umgang mit zerbrechlichen und wertvollen Wafern liefert. Das Gerät ist in der Lage, Wafer zwischen 4 Zoll und 6 Zoll Durchmesser zu handhaben und verfügt über ein Niederdruckübertragungssystem für optimierten Waferschutz. COVOT-6 verfügt über eine Wiederholbarkeit von ± 5 μ m, eines der höchsten auf dem Markt verfügbaren Genauigkeitsniveaus. Das Gerät verfügt über eine automatisierte Spannplattform, die Wafer sicher sichert und handhabt und die Niederdruckübertragungsmaschine sorgt für maximalen Oberflächenschutz für empfindliche Substrate. Einwaferbelastung ist ebenfalls möglich, mit einem einzigartigen Positionswerkzeug, das die Position des Wafers innerhalb der Einheit genau misst. Die automatisierte Waferwaschfähigkeit von ULVAC COVOT-6 minimiert das Risiko einer Kontamination und eliminiert die manuelle Reinigung, wodurch der Gesamtdurchsatz erhöht wird. Das Asset verfügt außerdem über einen integrierten Detektor und ein Sicherheitsmodell, um sicherzustellen, dass der genaue Wafer-Load-Status überwacht und effizient verwaltet wird. Der Wafer-Handler verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche, die eine nahtlose und einfache Bedienung ermöglicht. Konfigurierbare Einstellungen sorgen für eine optimale Integration mit zugehörigen Komponenten wie Robotern oder Prozesskammern, um eine vollständige automatisierte gleichmäßige Übertragung zu erreichen. Das Gerät kann auch nicht standardmäßige Wafergrößen und Materialien erkennen und ablehnen, und ein modularer Aufbau ermöglicht es, zusätzliche Module einfach zu seinen Fähigkeiten hinzuzufügen. COVOT-6 bietet auch eine präzise und konsistente Temperaturregelung von Ofen zu Kammer sowie eine ultraschnelle Vakuumrückgewinnungsrate. Diese Präzision sorgt dafür, dass Wafer gleichmäßig aufgeheizt und gekühlt werden, was eine optimale Produktqualität ermöglicht. Abschließend ist ULVAC COVOT-6 eine vielseitige Wafer-Handhabung, die überlegene Präzision und Genauigkeit bietet. Die automatisierten Funktionen und die intuitive Benutzeroberfläche sowie das Leistungsspektrum wie Niederdruckübertragung, Klemmplattform und Temperaturregelung machen COVOT-6 zu einer effektiven und zuverlässigen Wafer-Handling-Lösung.
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