Gebraucht ULVAC COVOT-6 #293664118 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
COVOT-6
ID: 293664118
Robot.
ULVAC COVOT-6 ist eine fortschrittliche Wafer-Handler-Ausrüstung für die Handhabung von Halbleiterscheiben aller Größen, einschließlich 200mm und 300mm Wafer. Es ist sehr zuverlässig und arbeitet mit zahlreichen Prozessschritten in einer einzigen Plattform und bietet eine effiziente Übertragung und Positionierung von Wafern. COVOT-6 besteht aus einer Haupteinheit, zwei Roboterarmen und einer Roboterhand. Die Haupteinheit beherbergt eine Vielzahl von Systemen, darunter Steuermodule, eine Stromversorgungseinheit, eine Kommunikationskarte und ein Montagewerkzeug zur Befestigung der Roboterarme. Die beiden Roboterarme, die jeweils unabhängig oder im Tandem bewegt werden können, sind in der Lage, Wafer bis 200 mm Größe zu übertragen und zu positionieren. Die Roboterhand dient zum Greifen und Lösen von Wafern von/zu einer Vorrichtung oder einem Tablett. Der Roboterarm ist mit einem fünfachsigen Stempel und einem Sichtsystem zur Überwachung und Steuerung der Waferbewegung ausgestattet. Die Robotereinheit ist mit einer Reihe von Befehlen programmiert, die es ihr ermöglichen, verschiedene Operationen wie Ausrichtung, Übertragung und Positionierung von Wafern auszuführen. Sie ist auch in der Lage, Geschwindigkeit, Kraft und Beschleunigung je nach Art des zu handhabenden Wafers zu variieren. Darüber hinaus umfasst die Maschine Merkmale, die Wafer durch den Einsatz einer Umweltsteuereinheit vor Umweltverschmutzung schützen. Diese Einheit filtert und entfernt Fremdpartikel aus dem Werkzeug vor der Handhabung. Insgesamt ist ULVAC COVOT-6 ein fortschrittlicher und hochzuverlässiger Wafer-Handler, der eine effiziente Waferübertragung und Positionierung in einer einzigen Plattform ermöglicht. Seine hervorragende Leistung und Eigenschaften machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen. Seine fortschrittlichen Verletzungsverhinderungsmechanismen schützen Wafer vor mechanischen Schäden und seine Umweltschutzwächter vor Kontamination. COVOT-6 bietet einen hohen kontrollierten Betrieb für die Handhabung jeder Art von Wafer.
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