Gebraucht ULVAC COVOT-6 #293664119 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ULVAC COVOT-6 ist eine für Halbleiteroblatenverarbeitungsanwendungen entworfene Oblatenberührenausrüstung. Es ist ein vollautomatisches, programmierbares Wafer-Handling-System, das Wafer bis zu 6 Zoll und Wafer-Stacks bis zu 4 Zoll Dicke handhaben kann. COVOT-6 verwendet eine Kombination aus zuverlässiger Robotik und Präzisionsreglern, die eine reibungslose und genaue Handhabung von Wafern und Substraten beim Transfer von einer Station zur anderen ermöglichen. Die Einheit besteht aus einem integrierten Waferlader, zwei Wafer Handling Robotern, einem Luftlagerpositionierer und sechs Bearbeitungsausrichtern. Die Roboterarme verfügen über zwei unabhängige Hochgeschwindigkeits-6-Achsen-Roboter, die wiederholbare Genauigkeit und Flexibilität im Wafer-Handling liefern. Diese Roboter haben die Fähigkeit, die Wafer mit maximaler Drehmomentsteuerung exakt zu positionieren und zu bewegen. ULVAC COVOT-6 bietet eine hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit der Positionierung mit seinem Luftlagerpositionierer, der präzise Linearmotoren für die individuelle Steuerung seiner drei Stufen aufweist. Es enthält auch sechs integrierte Mikroprozessoren und Softwaresteuerungen, die es jedem der Ausrichter ermöglichen, Wafer für wiederholbare Genauigkeit und Durchsatz auszurichten. Die Wafer-Handhabungsmaschine wird über Human Machine Interface (HMI) -Systeme programmiert und gesteuert, die für jede Anwendung angepasst werden können. Es ist auch mit integrierten Sensoren ausgestattet, die die Position und den Status des Wafers während der Übertragung überwachen und die Roboterarmbewegungen entsprechend anpassen. Dies maximiert die Produktionsqualität und den Durchsatz. Schließlich ist COVOT-6 mit einem Remote-Monitoring-Tool ausgestattet, das es den Betreibern ermöglicht, leicht auf Daten zuzugreifen, die sich auf die Performance des Asset beziehen. So können Anwender Modelloperationen und -prozesse optimieren und gleichzeitig den Ertrag der Waferproduktion verbessern. ULVAC COVOT-6 ist ein ideales Wafer Handling Equipment für Halbleiterprozesse, da es eine hervorragende Handhabungsgenauigkeit in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen garantiert. Die robuste Robotertechnologie sorgt für Geschwindigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit der Leistung, verbessert den Durchsatz und trägt zur Gesamtproduktivität bei.
Es liegen noch keine Bewertungen vor