Gebraucht VARIAN E19013780 #148779 zu verkaufen

VARIAN E19013780 wafer handler ist ein automatisiertes Robotersystem zur Übertragung von Wafern in einer Halbleiterwafer-Herstellungsumgebung. Der Wafer-Handler besteht aus einem Mainframe bestehend aus einer X/Y/Z-Bewegungsbaugruppe, einem Wafer-Transferarm und einer Hauptprozessoreinheit. Sein Mainframe bietet die physische Bewegung verschiedener Komponenten des Wafers während des gesamten Prozesses. Die X/Y/Z-Bewegungsbaugruppe besteht aus einem X-, Y- und Z-Achsen-Antriebsmotor, mit dem ein Lastschlitten in der Regel auf eine Vakuum- und Schwerkraftschiene bewegt wird. Der Z-Achsen-Antriebsmotor ist in der Lage, die Vakuum- und Schwerkraftpositionen eines Wafers auf den Roboterarm einzustellen. Der Wafer-Transferarm ist ein Rammantrieb, der den Wafer während des Transfervorgangs trägt und dreht. Die wichtigste CPU ist für die Steuerung der Bewegungen und anderer Aktionen verantwortlich, basierend auf den Anweisungen. Der Wafer-Handler ist in der Lage, Wafer in einer Vielzahl von Konfigurationen innerhalb der gleichen Arbeitszelle zu übertragen. Die Ausgestaltung des Waferübertragungsarms ist in der Lage, bis zu vier verschiedene Positionen für Waferübertragung und Rotation vorzusehen. Diese verschiedenen Positionen sind so programmiert, dass der Robotermanipulator alle sequentiellen Aufgaben in der Arbeitszelle exakt erledigen kann. Die Wafer-Handler verwenden eine Reihe von Sensoren, einschließlich Näherungssensoren, Lichttürme, Druckknöpfe und Endschalter zur Rückkopplung zur Steuerung von Waferbewegungen. Der Roboterarm hat die Fähigkeit, Wafer in vertikalen und horizontalen Ebenen zu manipulieren. Die Zykluszeit für den Wafer-Handler ist abhängig von der Zeit, die für die Manipulation und Übertragung der Wafer zwischen den mehreren Komponenten der Arbeitszelle benötigt wird. E19013780 Wafer-Handler wurde entwickelt, um Wafer in einer Halbleiterherstellungsumgebung effizient zu übertragen, zu drehen und zu sortieren. Es wurde entwickelt, um eine schnelle und präzise Übertragung von Wafern mit minimaler Zykluszeit und verbesserten Produktionserträgen zu ermöglichen. Der Wafer-Handler reduziert menschliche Fehler und sorgt für eine genaue Ausrichtung der Wafer während des gesamten Prozesses. Der Roboterarm ist aufgrund seiner Konstruktion und Konfiguration in der Lage, eine optimale Leistung zu bieten.